Туннельные и эмиссионные акселерометры на основе микроэлектромеханических систем

Содержание
Введение
Глава 1. Микроэлектромеханические системы для датчиков физических величин
обзор литературы
1.1. Введение
1.2. Технология МЭМС
1.3. МЭМС двигатели
1.4. Модель акселерометра
1.5. Виды акселерометров
1.6. Туннельный МЭМС сенсор
Глава 2. Датчики туннельноэмиссионных акселерометров
2.1. Введение
2.2. Обсуждение конструкции и оптимальной геометрии электродов эмиссионного акселерометра
2.3. Экспериментальные исследования эмиссионного акселерометра
2.4. Выводы
Глава 3. Изготовление и исследование микроконсолей для применений в МЭМС датчиках физических величин
3.1. Введение
3.2. Изготовление микроконсолей на основе материалов с различным кристаллическим совершенством
3.3. Изучение механических свойств микроконсолсй с помощью атомносилового микроскопа
3.4. Обращение изгиба микроконсоли при введении дополнительных упругонапряженных слоев
3.5. Изгиб микроконсолей при изменении температуры
3.6. Исследование электромеханических свойств МЭМС с электростатическим управлением
3.7. Выводы Глава 4. Анизотропный ньезоэффект в микроэлектромеханических системах
на основе эпитаксиальных гетерострукгур ОаАзМЗАБ и .5.5
4.1. Введение
4.2. Пьезоэффект в кристалле СаА51
4.3. Формирование пьезоэлекгрических микроконсолей для МЭМС
4.4. Исследование статических и динамических смещений консолей
4.5. Выводы
Глава 5. Микроэлектромеханический туннельный датчик для акселерометра
5.1. Введение
5.2. Изготовление МЭМС структуры с туннельным зазором
5.3. Исследование характера токонереноса через зазор в МЭМС на основе структуры кремний на изоляторе
5.4. Исследование элекгромеханических свойств МЭМС с туннельным зазором
5.5. Выводы
Приложение 1. Технология критического высушивания
Приложение 2. Методика измерения разрешения акселерометра
Заключение
Список цитированной литературы