Содержание
Введение
Глава I. Литературный обзор.
1.1 Виды зондовой микроскопии.
1.2 Пленочные кантилеверы.
1.3 Кремниевый кангилевер.
1.4 Кантилеверы с вискерами.
1.5 Краткие выводы к главе 1
Глава 2. Формирование консоли кантилевера и
аппаратура для исследования основных
его параметров.
2.1 Диффузия как основной метод формирования
консоли кантилевера.
2.1.1 Условия возникновения диффузии
2.1.2 Процесс диффузии и определяющие его факторы.
2.1.3 Функция распределения концентрации
примеси по глубине
2.1.4 Диффузия из постоянного внешнего
источника одностадийный процесс.
2.1.5 Диффузия из конечного поверхностною источника вторая стадия двухстадийного процесса
2.1.6 Рабочая камера диффузионной установки
2.1.7 Способы контроля диффузионного процесса
2.2 Растровая электронная микроскопия как основной
метод контроля качества кантилевсров
2.2.1 Электронные пузики
2.2.1.1 Вольфрамовый термокатод
2.2.1.2 Стержневой катод из гексаборида
лантана ГаВ6.
2.3.1 Электронные линзы.
2.3.1.1 Общие свойства магнитных линз
2.3.1.2 Формирование пятна минимального размера
2.4.1 Аберрация в электронно оптической мишени
2.4.2 Устройство объективной линзы
2.4.3 Глубина фокуса
2.5 Краткие выводы к главе 2.
Глава 3. Исследование процессов изготовления
кантилевера с улучшенными параметрами
3.1 Исследование процесса формирования иглы кантилевера с улучшенными характеристиками.
3.2 Разработка технологии изготовления кантилевера с использованием
электрохимическою травления
3.3 Краткие выводы к главе 3.
Глава 4. Разработка технологии изготовления управляемою кантилевера и методики расчетов сферического изгиба консоли кантилевера в зависимости от температуры
4.1 Разработка методики расчета деформации консоли кантилевера методом резистивного токового разогрева.
4.2 Технологический маршрут изготовления многобалочного управляемого кантилевера
4.3 Краткие выводы к главе 4
Заключение
Список использованных источников
- Київ+380960830922