ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. ПРОБЛЕМЫ СОВЕРШЕНСТВОВАНИЯ КОНСТРУКЦИЙ И ТЕХНОЛОГИЙ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОМЕХЛНИЧЕСКИХ ПРИБОРОВ И СИСТЕМ
1.1. Основные разновидности микроэлсктромеханических приборов и систем и области их применения
1.1.1. Разнообразие ассортимента МЭМС
1.1.2. Назначение и разновидности инклинометров
1.1.3. Микромеханические датчики давления ММД
1.1.4. Планарные микродвигатели
1.2. Актуальные технологические проблемы разработки и изготовления МЭМС
1.2.1. Особенности технологии изготовления МЭМС
1.2.2. Травление в технологии изготовления МЭМС
1.2.3. Реализация трхмерных структур
1.3. Контроль и измерения параметров и характеристик МЭМС
1.4. Выводы
1.5. Постановка задач диссертационной работы Глава 2. КОНСТРУКТОРСКОТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ
СЛОЖНО ФУНКИОНАЛБНЫХ МИКРОПРИВОДОВ СФМ
2.1. Анализ основных типов конструкции подвижной части СФМ
2.2.Требования к СФМ и расчт геометрических параметров подвижной части, необходимых для их обеспечения
2.3. Конструкция образца СФМ
2.3.1. Роторный узел макетного образца СФМ
2.3.2. Статорная пластина макетного образца СФМ
2.3.3. Обеспечение необходимого зазора между роторным узлом
и статорной пластиной
2.4. Задачи, решаемые при разработке технологии изготовления СФМТ
2.5. Технологические погрешности изготовления подвижной части СФМ
2.5.1. Погрешности методического типа.
2.5.2. Погрешности инструментального типа
2.6. Исследование и разработка технологии выполнения операций сборки и
монтажа СФМ
2.6.1. Специфика сборки и монтажа СФМ.
2.6.2. Совмещение и фиксация деталей СФМ
2.6.3. Методы соединения деталей МЭМС. Анодное сращивание
2.6.4. Методы соединения деталей МЭМС
2.7. Технология изготовления деталей макетных образцов СФМ
2.8. Разработка и обоснование алгоритма выполнения технологического процесса сборки и монтажа СФМ
2.9. Сборка, монтаж и герметизация образцов СФМ
2.9.1. Посадка чипа в корпус методом клеевого соединения
2.9.2. Посадка чипа в корпус методом пайки
2.9.3. Посадка чипа в корпус
2.9.4. Герметизация СФМ
2 Разработка перспективной конструкции СФМ
21. Статорная пластина
22. Прокладка
23. Роторный элемент
2 Проверка работоспособности, контроль параметров и характеристик образцов СФМ
21. Анализ контролируемых параметров СФМ
22. Разработка устройства для контроля основных параметров и
характеристик СФМ
23. Контроль параметров и характеристик СФМ
24. Разработка устройства контроля внутренних параметров СФМ.
2 Изготовление макетных образцов СФМ и проверка их работоспособности
21. Проверка работоспособности СФМ
22. Проверка работоспособности оптическим методом 1
23.Метод проверки работоспособности СФМ по внутренним параметрам
24. Проверка работоспособности макетных образцов СФМ
2 Выводы
Глава 3. МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ УСКОРЕНИЯ,
УГЛОВОЙ СКОРОСТИИ И ИНКЛИНОМЕТРЫ
3.1. Микроэлектромеханические вибрационные гироскопы
3.2. Влияние эксплуатационных факторов на параметры ММВГ
3.2.1. Исследование влияние давления на добротность ЧЭ ММВГ
3.2.2. Влияние температуры на собственную частоту колебаний гироскопа
3.2.3. Исследование параметров ММВГ
3.2.4. Исследование изменение добротности с течением времени
загерметизированных образцов ММВГ с геггером во внутренней полости.
3.3. Микромеханические акселеромечры ММА
3.3.1. Моделирование конструкции подвесов чувствительных элементов
3.3.2. Анализ влияния внешних статических механических возмущений на значения максимального напряжения в торсионах микроакселерометра с сечением различной конфигурации.
3.3.3. Расчет параметров чувствительных элементов микроакселерометров
3.3.4. Расчет углов отклонения чувствительного элемента акселерометра
3.3.5. Конструкция микромеханического акселерометра
3.3.6. Совершенствование конструкции ММА
3.3.7. Анализ влияния газового демпфирования на параметры ММА
3.4. Кольцевой микромеханический гироскоп
3.4.1. Расчт геометрических размеров ЧЭ ММГ кольцевого типа
3.4.2. Конструкция КМГ
3.5. Исследование характера изменения ТКР стекла ЛК5 в зависимости от температуры
3.6. Использование травления для формирования чувствительных элементов микромеханичсских устройств
3.7. Исследование свойств гидрогенизированных образцов кремния методами ИК спектроскопии
3.8. Совершенствование технологии изготовления ММА и КМГ
3.8.1. Технология изготовления ММА
3.8.2. Технология изготовления КМГ
3.9. Изготовление образцов ММА и КМГ
3.9.1. Изготовление образцов ММЛ
3.9.2. Изготовление образцов КМГ
3 Применение микромеханических акселерометров в изделиях микросистемой техники
3 Микромеханический инклинометр
3 Выводы
4. МИКРОМЕХЛНИЧЕСКИЕ ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ ММД
4.1. Разработка конструкции экспериментальных образцов ММД давления
4.1.1. Выбор материалов для изготовления ММД
4.1.2. Основные тапы датчиков давления, принципы измерения давления и обоснование выбора конструкции разрабатываемого датчика.
4.1.3. Особенности конструкции разработанного датчика давления.
4.2. Разработка технологических процессов изготовления ММД давления
4.2.1. Особенности технологии изготовления ММД.
4.2.2. Использование групповых процессов обработки пластин в технологии ММД
4.2.3. Сборка и монтаж деталей конструкции ММД давления
4.4. ВЫВОДЫ
Заключение
Список литературы
- Київ+380960830922