Разработка и анализ зондовых микромеханических устройств

СОДЕРЖАНИЕ
Введение .
Глава 1. Зондовые микромеханические устройства. Конструирование
и технологии изготовления . . . . . .
1.1. Разновидности зондовых микромехатшческих устройств. . . .
1.2. Расчет параметров пленочных микросенсоров .
1.3. Разработка конструкций активных зондовых микромеханических устройств. . . . .
1.4. Технология изготовления зондовых микромеханических устройств. . .
1.5. Применение ионных пучков в технологии зондовых микромеханических устройств. . . . . . .
1.6. Тестирование зондовых микромеханических устройств. . . .
1.7. Выводы. .
Глава 2. Силовые взаимодействия в зондовых микромеханических
устройствах . . . . . . . . .
2.1. Расчет парных потенциалов взаимодействия . . . .
2.2. Межатомные силы в зондовых микромеханических устройствах. . .
2.2.1. Континуальное приближение . .
2.2.2. Приближение дискретных атомных плоскостей . . .
2.2.3. Силы Казимира в зондовых микромеханических устройствах. .
2.3. Силы взаимодействия с наноструктурными зондами. . . .
2.4. Капиллярные силы в зондовых микромеханических устройствах. . .
2.4.1. Термодинамический цикл в системе зондобразец . . .
2.4.2. Флуктуации основных термодинамических параметров . .
2.5. Выводы. .
Глава 3. Силы трения в зондовых микромеханических устройствах. . .
3.1. Адгезионный механизм трения в наноконтактах . . . .
3.2. Дислокационный механизм трения в наноконтактах. . . .
3.3. Статистическая теория трения в зондовых микромеханических устройствах. .
3.4. Диссипативные силы в бесконтактном режиме . . . .
3.5. Выводы. . . . . . . . . . .
Глава 4. Анализ режимов работы зондовых микромеханических
устройств. . . . . . . . . .
4.1. Режимы регистрации туннельного тока. . . . . .
4.2. Режим регистрации нормальных сил . . . . .
4.3. Модуляционные режимы . . . . . . .
4.4. Режим регистрации боковых сил . . . . . .
4.5. Режим регистрации акустической эмиссии . . . .
4.6. Выводы.
Глава 5. Моделирование и обработка сигналов в зондовых
микромеханических устройств . . . . .
5.1. Моделирование сигналов в зондовых микромеханических устройствах. . . . . . . . . . .
5.2. Применение методов молекулярной динамики и МонтеКарло. .
5.3. Искажения сигналов в зондовых микромеханических устройствах. .
5.4. Применение вейвлетпреобразования для обработки сигналов .
5.5. Выводы.
Глава 6. Некоторые применения зондовых микромеханических устройств
6.1. Спектроскопия в режиме регистрации нормальных сил . .
6.2. Спектроскопия в режиме регистрации боковых сил . . .
6.3. Исследование электрокапиллярного эффекта и
диэлектрических свойств . . . . . . .
6.4. Расчет парного потенциала взаимодействия атомов по данным атомносиловой спектроскопии . . . . . .
6.5. Режим модификации поверхности . . . . . .
6.6. Выводы.
Заключение . . . . .
Библиографический список .
Приложение 1 .
Приложение 2 .
ВВЕДЕНИЕ
Актуальность