Ви є тут

Термическое окисление монокристаллов карбида кремния политипа 6Н

Автор: 
Рябинина Ирина Александровна
Тип роботи: 
кандидатская
Рік: 
2010
Кількість сторінок: 
144
Артикул:
232982
179 грн
Додати в кошик

Вміст

СОДЕРЖАНИЕ
Введение
Глава 1. ОСНОВНЫЕ СВОЙСТВА КАРБИДА КРЕМНИЯ КАК ПЕРСПЕКТИВНОГО МАТЕРИАЛА МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
1.1. Кристаллическая структура и политипизм Б1С
1.2. Основные методы синтеза монокристаллов карбида кремния
1.3. Электрофизические свойства карбида кремния
1.4. Термическое окисление карбида кремния
1.5. Перспективы применения карбида кремния в силовой электрон
Выводы к первой главе
Глава 2. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
2.1. Исследование монокристаллов карбида кремния
2.1.1. Количественный анализ элементного состава монокристаллов карбида кремния
2.1.2. Выявление поверхностных дефектов на пластинах карбида кремния
2.1.3. Определение ширины запрещенной зоны карбида кремния
2.1.4. Определение электрических параметров, концентрации свободных носителей зарядов и их подвижности в монокристаллах Б КЗ
2.2. Технология выращивания диэлектрических слоев на карбиде кремния
2.2.1. Оборудование для проведения процесса термического окисления карбида кремния
2.2.2. Определение толщины 8Ю2 на карбиде кремния
2.2.3. Определение пористости пленок БЮг на карбиде кремния
2.2.4. Определение поверхностных состояний на границе раздела БЮгБЮ
2.3. Измерение вольтамперных и вольтфарадных характеристик диодных структур на основе монокристаллов бНБЮ Глава 3. ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУР И СВОЙСТВ МОНОКРИСТАЛЛОВ БКЗ
4.3. Влияние режимов окисления на дефектность пленок 8Юг на 6Н8С
3.1. Стехиометрия кристаллов карбида кремния
3.2. Морфология поверхности монокристаллов 8С. Макроскопические и микроскопические дефекты
3.3. Определение политипа, концентрации и подвижности носителей заряда в пластинах 8С Выводы к третьей главе
Глава 4. ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕШЕ 6Н8С
4.1. Исследование кинетики термического окисления 6Н8С
4.2. Термодинамические параметры процессов термического окисления бНБС
4.4. Исследование вольтамперных и вольтфарадных характеристик диодных структур на основе бНБС
Выводы к четвертой главе
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ