Теплофизические свойства микросистем на основе структур карбид кремния на изоляторе

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА 1. ТЕПЛОВЫЕ ПРОЦЕССЫ И ИХ СВЯЗЬ С ЭФФЕКТАМИ МАСШТАБИРОВАНИЯ. ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИЕ СЕНСОРЫ И АКТЮАТОРЫ
1.1. Процессы теплопередачи и их проявления на микроуровне.
1.1.1. Теплопроводность в твердых телах
1.1.2. Теплопроводность и конвекция в газах
1.1.3. Тепловое излучение
1.2. Аналогия электрических и тепловых процессов.
1.3. Критерии эффективности работы датчиков и актюаторов и их связь эффектами масштабирования
1.4. Обзор существующих тепловых датчиков и актюаторов.
1.4.1. Терморезистивный датчик температуры.
1.4.2. Тепловой датчик потока термоанемометр.
1.4.3. Тепловой датчик давления
1.4.4. ИКмикроизлучатель
1.4.5. Тепловой микрореактор для аналишкотсхнологических систем
1.4.6. Термомеханический актюатор
1.5 Постановка задачи работы.
ГЛАВА 2. РАЗРАБОТКА ЭЛЕМЕНТОВ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА ПОЛУЧЕНИЯ СТРУКТУР КАРБИД КРЕМНИЯ НА ИЗОЛЯТОРЕ ДЛЯ ТЕПЛОФИЗИЧЕСКИХ СЕНСОРОВ И
АКТЮАТОРОВ.
2.1. Разработка базовых вариантов технологического процесса получения структур карбид кремния на изоляторе для теплофизических микроприборов
2.1.1. Требования к материалам.
2.1.2. Микронагреватель на мембране
2.1.3. Микронагреватель на балках
2.2. Исследование характеристик и способов управления электрофизическими свойствами слоев карбида кремния
2.3. Исследование оптических свойств слоев 5Ю.
2.4. Исследование радиационной стойкости слоев БЮ.
ГЛАВА 3. РАСЧЕТ И АНАЛИЗ ТЕПЛОВЫХ МИКРОСИСТЕМ.
3.1. Механизмы преобразования тепловой энергии
3.1.1. Преобразование тепловая энергия механическая энергия.
3.1.2. Преобразование тепловая энергия электрическая энергия.
3.1.3. Преобразование тепловая энергия энергия излучения
3.2. Аналитический вывод системы уранений ВАХ микронагревательной структуры.
3.3. Электротепловая модель микронагревательной структуры.
3.4. Размерный эффект теплоотдачи.
3.5. Тепловые эффекты масштабирования.
3.6. Расчет динамических параметров микронагревательной структуры.
3.7. Моделирование тепловых полей и механических напряжений в микронагревательной структуре.
3.7.1. Распределение температуры и термомеханических напряжений в тонкой мембране.
3.7.2. Распределение температуры и термомеханических напряжений в структуре на балках.
ГЛАВА 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ ИССЛЕДОВАНИЯ ТЕПЛОВЫХ МИКРОСИСТЕМ.
4.1. Анализ вольтамперных характеристик тепловых микросистем
4.2. Определение удельного коэффициента латеральной теплопроводности тонких слоев карбида кремния
4.3. Экспериментальная проверка размерною эффекта теплоотдачи
4.4. Измерение частотных параметров микронагревателей.
4.5. Определение частотных параметров микронагревательной
системы
4.6. Исследование термомеханических свойств микронагреватсльных
систем на основе карбида кремния.
ГЛАВА 5. ПРИБОРНАЯ РЕАЛИЗАЦИЯ ТЕПЛОВЫХ ДАТЧИКОВ И АКТЮАТОРОВ.
5.1. Терморезистивный преобразователь температуры
5.2. Чувствительные элементы датчиков потока и вакуума.
5.3. Инфракрасный микроизлучатель
5.4. Скальпель с нагреваемой режущей кромкой.
5.5. Тепловой микрореактор для аналитических целей.
5.6. Термомеханический микроактюатор.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ