ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
АКТУ АЛЫ ЮСТЬ ТЕМЫ .
ЦЕЛЬ И ЗАДАМИ ДИССЕРТАЦИОННОЙ РАБОТЫ.
МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ
НАУЧНАЯ НОВИЗНА
ПРАКТИЧЕСКАЯ ЗНАЧИМОСТЬ
НАУЧНЫЕ ПОЛОЖЕНИЯ. ВЫНОСИМЫЕ НА ЗАЩИТУ.
АПРОБАЦИЯ РАБОТЫ.
ПУБЛИКАЦИИ. ВКЛЮЧЕННЫЕ В ДИССЕРТАЦИОННУЮ РАБОТУ
СТРУКТУРА И ОБЪЕМ РАБОТЫ
1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР
и ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МАЛОУГЛОВЫХ РЕНТГЕНОВСКИХ МЕТОДОВ.
1.1.1 Рп ГТГЕНОВСКАЯ РЕФЛЕКТОМЕТ РИЯ РР
1.1.1.1 История методо РР
1.1.1.2 Определение геометрических параметров из кривой РР.
1.1.1.3 Определениесуммарной среднеквадратичной ампитуды шероховатости из кривой РР
1.1.2 Малоугловое диффузное рентгеновское рассеяние МДР.
. 1.2.1 Диффузное рассеяние от одиночной шероховатой поверхности
1.1.2.2 Диффузное рассеяние от многослойной структуры с шероховатыми интерфейсами.
. 1.3 Малоугловое рентгеновское рассеяние при скользящем падении СПМУРР.
1.2 методика проведения рентгеновских измерений.
.2.1 Эксперимент на лабораторных рентгеновских установках.
1.2.1.1 Конструкция дифрактометра фирмы Вгикег.
1.2.1.2 Настройка дифрактометра Вгикег в режиме дифрактометрии.ЗI
1.2.1.3 Настройка дифрактометра Вгикег в режиме малоугловых измерений
1.2.2 ЭКСПЕРИМЕНТ НА СИНХРО РОНЕ СПМУРР
1.3 МНОГОСЛОЙНЫЕ ТВЕРДОТЕЛЬНЫЕ ИАНОСИСТЕМЫ
1.3.1 МНОГОСЛОЙНЫЕ ПЕРИОДИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ МПС МоБ
1.3.1.1 Оптические системы для экстремально ультрафиолетовой литографии ЭУФЛ
1.3.1.2 Дизайн МПС для ЭУФЛ
1.3.1.3 Факторы, определяющие отражательные характеристики МПС.
1.3.1.4 Физические механизмы, происходящие при осаждении МПС.
1.3.1.5 Методы осаждения.
1.3.1.6 Осаждение при повышенной температуре подложки
1.3.1.7 Диагностика МПС
1.3. Влияние шероховатости с различными частотами на отражательные характеристики
1.3.1.9 Классификация шероховатости тонкой пленки по виду РБОДункции.
1.3.2 МНОГОСЛОЙНЫЕ ПЕРИОДИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ v2
1.3.3 МНОГОСЛОЙНЫЕ ПЕРИОДИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ I
1.3.4 Объекты с островковой морфологией.
1.3.4.1 Островки Со
1.3.4.2 Микрогофры 20.
2. МНОГОСЛОЙНЫЕ ПЕРИОДИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ i.
2.1 ПОДГОТОВКА ПОДЛОЖЕК ДЛЯ МНОГОСЛОЙНЫХ СИСТЕМ i.
2.1.1 Методика эксперимента атомнос иловой микроскопии .
2.1.2 Сопоставление функций различных подложек по дан ым асм
2.1.3 Исследование подложек методом рр
2.2 ГЕОМЕТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ И КРИСТАЛЛИЧЕСКАЯ СТРУКТУРА МПС i
2.2.1 ПОЛУЧЕНИЕ МГС i
2.2.2 ИССЛЕДОВАНИЕ ГОДОМ ПРОСВЕЧИВАЮЩЕЙ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ ЭМ.
2.2.3 ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОМ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКТОМЕТРИИ РД
2.2.4 Исследование методом рр.
2.3 ШЕРОХОВАТОСТЬ ПОВЕРХНОСТИ И ИНТЕРФЕЙСОВ МПС i.
2.3.1 Исследование методом АСМ
2.3.2 МОДЕЛИРОВАНИЕ ДАННЫХ АСМ
2.3.3 ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОМ МДР
2.3.4 ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОМ СПМУРР.
2.4 ОБСУЖДЕНИЕ РЕЗУЛЬТАТОВ КОМПЛЕКСНОЙ ДИАГНОСТИКИ МПС i
2.5 ИЗМЕРЕНИЕ ОТРАЖАТЕЛЬНЫХ ХАРАКТЕРИСТИК МПС В ЭУФ ДИАПАЗОНЕ.
2.6 ЗАКЛЮЧЕНИЕ
3. МНОГОСЛОЙНЫЕ ПЕРИОДИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ 22
3.1 ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОМ РР.
3.2 ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОМ МДР
3.3 ЗАКЛЮЧЕНИЕ
4. МНОГОСЛОЙНЫЕ ПЕРИОДИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ I
4.1 МЕТОД ВЫРАЩИВАНИЯ.
4.2 ИССЛЕДОВАНИЕ СТРУКТУРНЫХ И ОПТИЧЕСКИХ СВОЙСТВ.
4.2.1 ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОМ ПЭМ
4.2.2 ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОМ ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНЦИИ ФЛ.
4.2.3 ИССЛЕДОВАНИЕ МЕТОДОМ РД
4.2.4 Исследование методами РР и МДР.
4.3 ЗАКЛЮЧЕНИЕ
5. ОСТРОВКИ Со 1 И МИКРОГОФРЫ СаК20
5.1 ИССЛЕДОВАНИЕ ОСТРОВКОВ Со 1 МЕТОДАМИ АСМ И СПМУРР
5.2 ИССЛЕДОВАНИЕМИКРОГОФР СаГ20 МЕТОДАМИ АСМ И СПМУРР
5.3 ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
СПИСОК ЦИТИРУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922