СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ .
Глава 1. Методы создания двумерных и трехмерных наноструктур
1.1. Методы электроннолучевой и ионной литографии.
1.2. Создание нанообъектов с помощью сканирующих зондовых микроскопов
1.3. Методы самоорганизации
1.4. Заключение .
Глава 2. Развитие методов формирования трехмерных нанострукгур. Метод атомной разборки кристаллов.
2.1. Введение
2.2. Трсщинообразование в хрупких материалах.
2.2.1. Краткий обзор литерату ры.
2.2.2. Принципы управления траекторией распространения трещины.
2.3. Формирование тонких СаЛя, 1пАб пленок, свободных от подложки формирование мембран .
2.3.1. . Введение.
2.3.2. Развитие методов формирования сверхтонких СаА8,1пСаА мембран
2.3.3. Особенности изготовления мембран с помощью селективного удаления жертвенного слоя .
2.3.4. Метод, использующий поверхностное натяжение травителя в процессе селективного удаления жертвенного слоя
2.3.5. Разработка метода литографии внутренних слоев микродеформационнаи литография.
2.3.6. Локальное удаление подложки методом стоп слоя.
2.4. Исследование процессов трсщинообразования в тонких СаАз мембранах.
Разработка новых методов нанолитографйи
2.5. Исследование процесса распространения трещины. Управление
трещинообразованием
Глава 3. Туннельные полупроводниковые структуры с подвижными электродами методы формирования, свойства
3.1. Введение.
3.2. Приготовление образцов.
3.3. Исследование процессов туннелирования в структурах с подвижными
электродами
3.4. Влияние температу ры на ВАХ СаАя туннельных переходов
3.5. Исследование временной стабильности характеристик СаЛ8 и 1пА
туннельных переходов.
3.6. Возможности использования туннельных переходов с подвижными
электродами в устройсвах микро и наномеханики.
3.7. Результаты и выводы
Глава 4. Разработка методов формирования и исследование свойств трехмерных
СаАвЛпСаЛв микро и наноструктур нанотрубок, спиралей
4.1 Введение
4.2 Напряженные гетероструктуры СаА1пхСа1.хА .
4.3 Физические основы самоформирования трехмерных нанообъектов
Самосворачивание двухслойных пленок ОаА1пхСаьхА в трубки .
4.4 Особенности изготовления трехмерных микро и наноструктур. Формирование
микро и нанотрубок, двустволок, винтовых цилиндрических спиралей
4.5 Исследование наиотрубок с помощью просвечивающей электронной
микроскопии высокого разрешения ВРЭМ.
4.5.1 Методы приготовления образцов .
4.5.2 Результаты ВРЭМ исследований
4.6 Капиллярное заполнение трубок .
4.7 Результаты исследования механических свойств микротрубок при
плокопараллельном нагружении .
4.8 Проводящие СаАвЛпОаА микро и нанотрубки
4.9 Результаты и выводы.
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ ДИССЕРТАЦИОННОЙ РАБОТЫ
ЗАКЛЮЧЕНИЕ .
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922