Электрофизические свойства нанокомпозитов на основе SnO2: ZrO2 и SnO2 с добавлением многостенных углеродных нанотрубок

Содержание
Введение
ГЛАВА I. ПЛНКИНАНОКОМПОЗИТЫ НА ОСНОВЕ МЕТАЛЛООКСИДНЬЕХ ПОЛУПРОВОДНИКОВ, ИХ
ФИЗИЧЕСКИЕ И ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ СВОЙСТВА 1О
1.1. Основные представления о свойствах материала БпОг
1.2. Взаимодействие молекул различных газов с поверхностью металлооксидных полупроводников
1.2.1. Физические и химические процессы, протекающие
на поверхности металлооксидных полупроводников
1.2.2. Г азыокислители и их взаимодействие с и 8пОг
1.2.3. Газывосстановители и их влияние на электрические
свойства пБпОг
1.2.4. Механизмы газовой чувствительности металооксидных полупроводников
1.2.5. Влияние размера зерна в поликристаллических пленках
диоксида олова на механизм газовой чувствительности
1.3. Способы изготовления плнок на основе металооксидных полупроводников
1.3.1. Гидролиз растворов хлорида олова
1.3.2. Метод ионноплазменного распыления
1.3.3 Зольгель метод
1.4. Влияние стабилизирующего изотермического отжига на
параметры и свойства плнокнанокомпозитов
1.5. Влияние легирования на свойства плнокнанокомпозитов
1.6 Влияние введения нанотрубок на свойства 8пСЬ
Выводы к первой главе
ГЛАВА 2. МЕТОДИКА ПРОВЕДЕНИЯ ЭКСПЕРИМЕНТА
2.1. Подготовка подложек
2.2. Изготовление нанокомпозитов 8п 7гметодом ионнолучевого напыления
2.3. Синтез композитов 8п с углеродными нанотрубоками
2.4.Структурный анализ
2.4.1. Рентгеновский микроанализ
2.4.2. Просвечивающая электронная микроскопия
2.4.3. Исследование морфологии плноккомпозитов
2.5. Измерение толщины плнок
2.6. Исследование оптических свойств пленок нанокомпозитов
2.7. Методы измерения электрических параметров плнок
2.7.1. Измерение удельного сопротивления четырехзондовым
методом
2.7.2. Измерение удельного сопротивления методом ВандерПау
2.7.3. Измерение электрических параметров плнок с помощью
эффекта Холла
2.8. Методика измерения газовой чувствительности
плнокнанокомпозитов
Выводы ко второй главе
ГЛАВА 3. ИССЛЕДОВАНИЕ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ И ГАЗОЧУВСГВИГЕЛЬНЫХ СВОЙСТВ ПЛЕНОК
НАНОКОМПОЗИТОВ БпОг гЮ2
3.1. Структура и основные электрофизические параметры пленок
8п
3.2. Стабилизирующий изотермический отжиг нанокомпозита 8п
3.3. Исследование оптических свойств нанокомпозита 8п
3.4. Исследование электрических параметров нанокомпозита 8п
3.5. Исследование температурной зависимости поверхностного сопротивления нанокомпозита 8п Ю2
3.6. Газочувствительные свойства наиокомпозита 8п
Выводы к третьей главе
Г ЛАВА 4. ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОКОМГ ЮЗИТОВ БпСЬ С
ДОБАВЛЕНИЕМ МНОГОСТЕННЫХ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК
4.1. Стабилизирующий изотермический отжиг нанокомпозитов БпОзгМУНГ
4.2. Исследование электрических параметров нанокомпозитов
БпОг МУНТ
4.3. Исследование температурной зависимости поверхностного сопротивления нанокомпозита 8п МУНТ
4.4. Газочувствительные свойства нанокомиозита Ьп МУНТ
Выводы к четвертой главе
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ
Список литературы