Оглавление.
Введение.
Глава 1. Состояние вопроса по созданию планарных квантовых проводников на основе углеродных нанотрубок и квазиодномерных структур.
1.1. Основные направления в нанотехнологии планарных
одномерных проводников
1.2. Развитие методов создания квантоворазмерных наноконтактов
на основе локального окисления, индуцированного током.
1.3. Основные параметры, характеризующие свойства нанотрубок.
1.3.1. Структура графита.
1.3.2. Угол хиральности и диаметр нанотрубок.
1.3.3. Электронная структура нанотрубок
1.4. Методы получения углеродных наноструктур.
1.4.1. Термическое разложение графита в дуговом разряде
1.4.2. Химическое осаждение из газовой фазы
1.4.3. Метод лазерного испарения.
1.4.4. Холодная деструкция графита.
1.5. Исследование нанотрубок с использованием микроскопии
высокого разрешения.
1.6. Электрические свойства нанотрубок.
Выводы по гл. 1
Глава 2. Разработка методик создания образцов наноструктур на
основе нанотрубок и их контроля в атомносиловом микроскопе
2.1. Сравнение методов высаживания нанотрубок, полученных
в различных технологических процессах.
2.2. Разработка режима наблюдения различного типа
нанотрубок на подложках
2.2.1. Выбор параметров работы микроскопа и типа кантилеверов
2.2.2. Деформация нанотрубок на подложках
2.2.3. Влияние взаимодействия иглы АСМ с нанотрубкой на
размеры наблюдаемых нанообъектов.
2.3. Манипулирование и модификация нанотрубок
с использованием атомносилового микроскопа
2.4. Развитие бесконтактной емкостной микроскопии для исследования проводящих нанообъектов на диэлектрических подложках
2.4.1. Моделирование микроскопии индуцированного
электрического поля в приближении точечного потенциала.
2.4.2. Апробация методики на тестовых проводящих и
диэлектрических объектах.
2.4.3. Применение микроскопии индуцированного электрического поля для неразрушающего контроля нанотрубок в электрических схемах.
2.5. Нанотрубки с разветвленной структурой
Выводы по главе 2.
Глава З.Разработка тестового кристалла и исследование
проводимости углеродных нанотрубок.
3.1 Технологический маршрут формирования кристалла.
3.2. Схемы измерения электрических свойств нанотрубок
3.3. Электрические характеристики структур на основе нанотрубок
3.3.1. Измерение проводимости при комнатной температуре
в малых и средних полях
3.3.2. Исследование нолевого эффекта.
3.4 Анализ механизмов проводимости структур на основе нанотрубок
3.4.1. Квантовый транспорт в двумерной графитовой системе.
3.4.2. Формирование контакта между металлом и нанотрубкой.
3.4.3. Изгиб нанотрубок на контактах
3.4.4. Одномодовый транспорт в полевом траюисторе с барьером
Шотгки на основе углеродных нанотрубок
Выводы по главе 3
0 Глава 4. Формирование функциональных элементов наноэлектроники
на основе сеток пучков однослойных углеродных нанотрубок и исследование их основных параметров
4.1. Модуляция проводимости структур на основе пучков
однослойных углеродных нанотрубок.
4.1.1. Особенности проводимости пучков однослойных
углеродных нанотрубок.
4.1.2. Формирование полупроводникового канала проводимости в пучках
ф 4.1.3. Параметры макета транзистора на основе пучка нанотрубок с
преобладающим полупроводниковым каналом проводимости.
4.2. Логические ключи на основе сеток пучков однослойных
углеродных нанотрубок.
4.2.1. Реализация инвертора с линейной нагрузкой на основе
внешнего резистора
4.2.2. Реализация инвертора с нелинейной нагрузкой на основе двух интегрировашьх ОСНТ транзисторов ртипа.
4.3. Разработка методов улучшения и стабилизации контакта
нанотрубка металл.
4.3.1. Токовая активация миграции атомов в интерфейсной
ф фазе золото нанотрубка.
4.3.2. Формирование углеродных контактов в качестве
токоподводящих электродов.
4.3.3. Выбор диэлектрического покрытия структур на основе
пучков углеродных нанотрубок
Выводы по главе 4.
Заключение
Благодарность.
Список использованных сокращений
Список литературы
- Київ+380960830922