ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. ЛИТЕРАТУРНЫЙ ОБЗОР.
1.1 Метод Чохральского
1.1.1 Теория метода.
1.1.2 Тепловые условия роста
1.1.3 Форма и свойства монокристаллов.
1.2 Метод Погаиского
1.3 Получение профильных монокристаллов методом Степанова.
1.3.1 Сущность метода.
1.3.2 Конструкции формообразователей
1.3.3 Устойчивость процесса роста.
1.3.4 Тепловые условия роста
1.3.5 Дефекты профильных монокристаллов.
1.4. Выводы и постановка задачи.
ГЛАВА 2. МОДЕЛИРОВАНИЕ ТЕПЛОВЫХ УСЛОВИЙ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ ТРУБЧАТОЙ ФОРМЫ МЕТОДОМ
ЧОХРАЛЬСКОГО
2.1 Расчет высоты столбика расплава при выращивании монокристаллов по методу Чохральского и ее влияние на постоянство диаметра растущего
кристалла
2.2. Исследование процессов теплообмена в замкнутой системе и определение возможности получения полых кристаллов
2.3 Решение сопряженных задач теплообмена с учетом реальной геометрии теплового узла.
2.4 Моделирование распределения температуры в модернизированном тепловом узле и в системе цилиндрическая затравкарасплав при различных положениях
2.5 Выводы и о главе 2
ГЛАВА 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТЕЙ ВЫРАЩИВАНИЯ И СВОЙСТВ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ТРУБЧАТОЙ ФОРМЫ
3.1 Исследование условий выращивания монокристаллов кремния трубчатой формы методом Чохральского
3.1 Л Экспериментальная апробация расчетного теплового узла.
3.1.2 Разработка методики определения температуры расплава в
3.1.3 Исследование технологических процессов получения профильных монокристаллов при различных формах, размерах и методах крепления
затравок
ЗЛ.4 Технология выращивания профильных монокристаллов
3.2 Влияние технологических факторов на геометрические размеры профильных монокристаллов
3.3 Исследование структуры выращенных профильных монокристаллов
3.3.1 Рентгеноструктурное исследование совершенства полученных профильных цилиндрических кристаллов.
3.3.2 Методика подготовки выращенных монокристаллов для металлографических исследований
3.3.3 Металлографическое исследование профильных монокристаллов
3.4 Разработка методики измерения удельного электрического сопротивления цилиндрических монокристаллов. Влияние технологических факторов на удельное сопротивление.
3.5 Изготовление выпрямительного диода на выращенных
профильных монокристаллах кремния
3.6 Предложения по использованию стандартных тиглей 2 и 0 мм.
3.7 Общие выводы.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922