Оглавление
Введение
1. Состояние проблемы разработки эпитаксиальных установок
2. Исследование напряженного состояния и механизма пластической деформации в кремниевой подложке при высокотемпературной обработке
2.1. Исследование распределения температуры по поверхности подложки в реакторе
2.1.1. Анализ теплового баланса и влияния газового зазора на температурное поле подложки
2.1.2. Расчет прогиба подложки при действии массовых сил в условиях высокотемпературной обработки
2.1.3. Температурное поле подложки в реакторе
2.2. Расчет термонаиряженного состояния в подложке при
осесимметричном перепаде температур
2.3. Расчет термонапряженного состояния в подложке при периферийном осесимметричном перепаде температур
2.4. Обобщенное термонапряженное состояние в подложке при осевом и периферийном перепаде температур
2.5. Механизм пластической деформации кремниевой подложки при высокотемпературной обработке в реакторе.
Выводы по разделу 2.
3. Исследование газодинамических характеристик потока в щелевом реакторе и расчет его на прочность.
3.1. Анализ течения газового потока в реакторе
3.2.Движение подложки относительно газового потока в реакторе
3.3. Расчет на прочность кварцевого реактора щелевого типа, работающего при пониженном давлении рабочего газа в условиях
высоких температур
3.4. Экспериментальная оценка характера деформации и разрушение реактора при работе с пониженным давлением
Выводы по разделу 3.
4.Установка эпитаксиального наращивания одиночных подложек
4.1. Назначение установки и ее характеристики
4.2. Устройство и работа установки
4.2.1. Реакторный блок
4.2.2. Модуль загрузки МВЗП
4.2.3. Система газораспределения
4.2.4. Система управления установкой
4.3. Циклограмма работы установки
Выводы по разделу 4.
Общие выводы
Литература
- Київ+380960830922