Ви є тут

Основы технологии получения кремниевых структур с объемными элементами методом жидкофазной эпитаксии в поле температурного градиента

Автор: 

Середин Лев Михайлович

Тип роботи: 

диссертация кандидата технических наук

Рік: 

2000

Кількість сторінок: 

175

Артикул:

1000273918

179 грн

Додати в кошик

• 
• 
• 

Рекомендовані дисертації

• Создание новых пьезоэлектрических материалов с заданными свойствами и приборов на их основе
• Исследование импульсных разрядов атмосферного давления и разработка оборудования для создания бактерицидной защиты технологических сред и изделий РЭА
• Моделирование диффузионных процессов изотермической жидкофазной эпитаксии полупроводников
• Разработка конструкций и технологий изготовления микроэлектромеханических приборов в герметичном исполнении
• Усовершенствование и унификация базовой имплантационной технологии фотодиодов из антимонида индия
• Исследование и разработка материалов пленочных сорбентов и структур интегральных сорбционно-емкостных сенсоров для измерения влажности технологических газов микроэлектроники
• Разработка технологических приемов получения фоточувствительных пленок на основе твердых растворов CdS1-xSex методом трафаретной печати
• Физико-механические свойства кремниевых наноструктур как технологического материала микросистемной техники
• Электрофизические и оптоэлектронные свойства гетероструктур на основе a-Si:H и его сплавов
• Стеклообразование и кристаллизация стекол в системах боратов редкоземельных элементов