Вы здесь

Основы технологии получения кремниевых структур с объемными элементами методом жидкофазной эпитаксии в поле температурного градиента

Автор: 

Середин Лев Михайлович

Тип работы: 

диссертация кандидата технических наук

Год: 

2000

Количество страниц: 

175

Артикул:

1000273918

179 грн

Добавить в корзину

• 
• 
• 

Рекомендуемые диссертации

• Физико-технические основы создания оптимизированных высоковакуумных магниторазрядных насосов, герметизирующих элементов и устройств для вакуумного технологического и аналитического оборудования электронной техники
• Исследование и разработка процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изоляторе
• Разработка метода молекулярного наслаивания для синтеза сверхтонких пленок халькогенидов металлов
• Технология, свойства и применение кристаллов на основе диоксида циркония
• Разработка и исследование технологических основ создания углеродных нанотрубок методом каталитического пиролиза этанола
• Физические основы и принципы бесконтактного измерения параметров полупроводниковых материалов
• Каталитические и газораспределительные слои для создания источников тока
• Реология ферритовых дисперсных систем и ее применение в технологии производства изделий магнитоэлектроники
• Технология структур "карбид кремния - кремний" для приборов микроэлектроники и микросистемной техники
• Исследование структурного совершенства и путей повышения качества бездислокационных монокристаллов кремния диаметром 100 мм, полученных методом Чохральского в условиях отечественного производства