Ви є тут

Исследование и разработка процессов подготовки поверхности кремниевых пластин при изготовлении структур кремний на изоляторе

Автор: 
Калугин Виктор Владимирович
Тип роботи: 
диссертация кандидата технических наук
Рік: 
2001
Кількість сторінок: 
187
Артикул:
1000324112
179 грн
Додати в кошик