СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
1. АНАЛИТИЧЕСКИЙ ОБЗОР ТЕНДЕНЦИЙ РАЗВИТИЯ И
ПЕРСПЕКТИВЫ ПРИМЕНЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ.
1.1. Многослойные тонкопленочные покрытия и области их применения
1.1.1. Микроэлектроника.
1.1.2. Микроэлектромеханика.
1.1.3. Оптика.
1.1.4. Машиностроение.
I 1.2. Особенности технологий формирования многослойных
нанокомпозитных тонкопленочных покрытий
1.3. Оборудование для нанесения многослойных тонких пленок.
1.4. Перспективные направления применения тонкопленочных нанокомпозитных материалов
Выводы по первой главе.
2. ФИЗИКОХИМИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ НАНОКОМПОЗИТНЫХ СТРУКТУР И ПРОБЛЕМЫ ИЗМЕРЕНИЯ ИХ МЕХАНИЧЕСКИХ
СВОЙСТВ.
2.1. Процесс формирования тонких пленок в вакууме
2.2. Влияние структуры пленки на ее механические свойства
2.3. Влияние границ раздела поверхностей на свойства многослойной пленки.
Ф 2.4. Влияние поверхности пленки на ее свойства.
2.5. Теоретические модели расчета твердости
Стр.
2.6. Проблемы измерения твердости тонких пленок посредством
микро и наноиндентирования
2.6.1. Особенности микроиндентирования.
2.6.2. Особенности наноиндентирования
Выводы по второй главе.
3. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ТОНКИХ ПЛЕНОК.
3.1. Опытноэкспериментальное оборудование.
3.1.1. Установка плазмохимического осаждения.
3.1.2. Установка нанесения тонких пленок в вакууме
3.1.3. Вакуумный универсальный пост.
3.2. Промышленная установка вакуумного нанесения
тонких пленок.
3.3. Аналитическое и измерительное оборудование.
Выводы по третьей главе.
4. ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ ОДНО И МНОГОСЛОЙНЫХ НАНОРАЗМЕРНЫХ ПЛЕНОЧНЫХ СТРУКТУР.
4.1. Осаждение А1, Си, Т и пленок на А1 основу
4.2. Осаждение ТаСН, ТаСНТ, i, ii
пленочных структур на А1 основу.
4.3. Осаждение А1 и Т пленок на основу
из коррозионностойкой стали
4.4. Осаждение i многослойных структур на основу
из коррозионностойкой стали
4.5. Осаждение Т и многослойных i нанопленок
ф на А1 основу
4.6. Осаждение многослойных пленочных структур титангидрогенизированный аморфный углерод
Выводы по четвертой главе.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
- Київ+380960830922