Ви є тут

Разработка информационного обеспечения вакуумных процессов создания пленочных композиций

Автор: 

Чикирякин Алексей Анатольевич

Тип роботи: 

диссертация кандидата технических наук

Рік: 

2000

Кількість сторінок: 

119

Артикул:

1000283471

179 грн

Додати в кошик

• 
• 
• 

Рекомендовані дисертації

• Электрофизические и оптоэлектронные свойства гетероструктур на основе a-Si: H и его сплавов
• Получение и исследование свойств углеродных наноматериалов и нанокристаллов широкозонных полупроводников
• Физико-химические аспекты формирования квантовых точек в системе InGaAs/GaAs методом МОС-гидридной эпитаксии
• Получение и исследование свойств наногетерогенных структур на основе системы вольфрам-углерод
• Исследование и разработка материалов пленочных сорбентов и структур интегральных сорбционно-емкостных сенсоров для измерения влажности технологических газов микроэлектроники
• Моделирование процесса пленкообразования на стадиях предварительной разработки оборудования электронной техники
• Выращивание монокристаллов и суперионная проводимость нестехиометрических фторидов со структурой типа тисонита (LfF3 )
• Иерархически организованные пористые газочувствительные слои системы SnO2-SiO2, полученные золь-гель методом
• Фотопроводимость и плотность состояний в a-Si: H и сплавах на его основе
• Исследование эксплуатационных характеристик теплообменных систем оборудования полупроводникового производства