Исследование особенностей получения и свойств пленок оксида цинка и железа

Оглавление
ВВЕДЕНИЕ
1. АНАЛИЗ УСЛОВИЙ СИНТЕЗА ПЛЕНОК
ОКСИДА ЦИНКА В СИСТЕМЕ ИОННО ПЛАЗМЕННОГО РАСПЫЛЕНИЯ. СОЗДАНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ УСТАНОВКИ.
1.1. Методы иопноплазменного осаждения и исследования пьезоактивных пленок Обзор современного состояния проблемы .
1.1.1. Физические основы распыления материалов под действием ионной бомбардировки
1.1.2. Классификация систем ионноплазменного распыления
1.1.3. Методы исследования пьезоактивных пленок
1.2. Разработка экспериментальной установки ионно плазменного распыления
1.2.1. Метод оперативного контроля текстуры пьезоактивных пленок.
1.2.2. Исследование условий получения пьезоактивных пленок оксида цинка.
1.3. Выводы
2. СИНТЕЗ ПЛЕНОК ОКСИДА ЦИНКА С ПРЯМОЙ И НАКЛОННОЙ ТЕКСТУРОЙ В ПЛАНАРНОЙ МАГНЕТРОННОЙ РАСПЫЛИТЕЛЬНОЙ СИСТЕМЕ
2.1. Условия формирования текстуры в тонких пленках
2.2. Постановка эксперимента. Управление областью отрицательного свечения
2.3. Обсуждение результатов.
2.4. Исследование возможности роста многослойных структур на основе пленок оксида цинка.
2.4.1. Экспериментальные результаты
2.5. Выводы.
3. ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ УСЛОВИЙ РОСТА НА СВОЙСТВА УЛЬТРАТОНКИХ ПЛЕНОК ЖЕЛЕЗА НА ПОДЛОЖКАХ АРСЕНИДА ГАЛЛИЯ 0
3.1. Описание экспериментальной установки молекулярнолучевой эпитаксии
3.2. Подготовка монокристаллических подложек арсенида галлия
для молекулярнолучевой эпитаксии.
3.3. Контроль скорости осаждения пленок.
3.4. Изучение магнитных свойств и параметров ультратонких пленок железа методом ферромагнитного резонанса.
3.5. Некоторые закономерности эпитаксиального роста тонких пленок .
3.6. Исследование влияния условий роста на магнитные свойства ультратонких пленок железа.
3.6.1. Изучение влияния толщины пленок на их магнитные свойства. Экспериментальные результаты.
3.6.2. Обсуждение результатов
3.7. Исследование влияние шероховатости подложек СаАэ 0 на магнитные свойства ультратонких пленок Ее
3.7.1. Влияние особенностей роста на магнитные свойства ультратонких пленок железа.Экспериментальные результаты
3.7.2. Обсуждение результатов.
3.8. Эффект переключения оси легкого намагничивания в пленках ГеСаАБ 1.
3.9. Выводы.
ПРИЛОЖЕНИЕ.
ЗАКЛЮЧЕНИЕ.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ