Термическое газофазное осаждение алмазных плёнок с использованием нанокластеров ультрадисперсного алмаза в качестве центров зародышеобразования

Содержание
Введение.
Глава I. Газофазное осаждение алмазных плнок
обзор литературы
1.1. Свойства монокристаллического алмаза и алмазных плнок
1.2. Методы получения алмазных плнок.
1.2.1. Основы метода газофазного.осаждения.
1.2.2. Метод термического газофазного осаждения.
1.2.3. Метод плазменного газофазного осаждения
1.3. Зародышеобразование алмаза при газофазном осаждениии.
1.3.1. Механизм зародышеобразования в газовой фазе
1.3.2. Механизм зародышеобразования на поверхности подложки
1.3.3. Влияние материала подложки
на механизм зародышеобразования.
1.3.4. Методы предварительной обработки подложки
1.3.5. Использование наноалмазных частиц
для создания центров зародышеобразования алмаза
Постановка задачи.
Глава II. Технология получения алмазных плнок методом
термического газофазного осаждения
2.1. Конструкция установки термического
газофазного осаждения
2.2. Методика эксперимента по росту алмазных плнок
методом термического газофазного осаждения.
Глава III. Рост алмазных плнок на кристаллическом
кремнии методом термического газофазного осаждения
3.1. Механизм гомоэпитаксиального роста алмазной плнки
при термическом газофазном осаждении.
3.2. Получение алмазных плнок с высоким содержанием
алмазной фазы на кремнии
3.2.1. Начальные стадии роста алмазной плнки
на шлифованном кремнии
3.2.2. Нахождение параметров процесса термического
газофазного осаждения, соответствующих наибольшему
содержанию в плнке алмазной фазы.
3.3. Начальные стадии роста островковых алмазных плнок
на кристаллическом кремнии.
Глава IV. Рост алмазных плнок методом термического газофазного
осаждения с использованием нанокластеров ультрадисперсного
алмаза в качестве центров зародышеобразования
4.1. Получение ультрадисперсного алмаза структура и
физические свойства
4.2. Начальные стадии роста алмазных плнок методом термического газофазного осаждения с использованием нанокластеров
ультрадисперсного алмаза.
4.2.1. Создание центров зародышеобразования алмаза
с использованием нанокластеров ультрадисперсного алмаза
4.2.2. Начальные стадии роста алмазной плнки на нанокластерах
ультрадисперсного алмаза
4.3. Рост алмазных плнок на различных неалмазных подложках с использованием нанокластеров ультрадисперсного алмаза
в качестве центров зародышеобразования
4.4. Рост алмазных плнок при низких температурах подложки
Глава V. Исследование структурных и оптических свойств алмазных
5.1. Исследование структурных свойств алмазных плнок
методом рентгеновской дифрактометрии.
5.1.1. Влияния параметров процесса термического газофазного осаждения на структурные свойства алмазных плнок
на кремнии
5.1.2. Структурные свойства алмазных плнок,
выращенных с использованием нанокластеров ультрадисперсного
алмаза в качестве центров зародышеобразования.
5.2. Исследование фазового состава приповерхностной области
алмазных плнок
5.3. Оптические свойства алмазных плнок.
5.3.1. Пропускания и отражения алмазных плнок,
полученных при низких температурах подложки.
5.3.2. Фотолюминесценции алмазных плнок, выращенных
на кремниевой и кварцевой подложках.
5.3.3. Исследование структурных дефектов и примесей в алмазных
плнках методом катодолюминесценции.
Основные результаты и выводы.
Список литературы