Содержание
Введение
Глава 1. Электрическая проводимость по поверхности кремния и системе металл
кремний
1.1 Поверхностные сверхструктуры и двумерные электронные системы. Поверхностные энергетические зоны.
1.2 Формирование упорядоченных поверхностных фаз Сг, Ре и М на 1
1.3 Влияние поверхностных фаз и Аи на проводимость по поверхности кремния
Выводы.
Глава 2. Методы исследования, аппаратура и методики
2.1 Методы исследования
2.1.1 Электронная ожеспектроскопия
2.1.2 Дифракция медленных электронов.
2.1.3 Методы электрофизических измерений.
2.1.4 Дифференциальная отражательная спектроскопия.
2.2 Экспериментальная аппаратура.
2.2.1 Сверхвысоковакуумная установка с автоматизированной приставкой для измерения эффекта Холла
2.2.2 Сверхвысоковакуумная установка УАШАЛ.
2.3 Методики и схемы экспериментов.
2.3.1 Подготовка образцов и источников.
2.3.2 Схемы экспериментов
2.3.3 Расчет параметров пленок с учетом шунтирующего влияния подложки
Глава 3. Электрические свойства неупорядоченных поверхностных структур Сг, Ке, на 1. . .
3.1 Проводимость на окисленных и атомарночистых поверхностях кремния п и ртипа.
3.2 Формирование и проводимость неупорядоченных слоев Ре на 1 п и ртипа
3.3 Электрический транспорт неупорядоченных слоев Сг на 1 п и ртипа
3.4 Начальные стадии роста и проводимость магния на 1
Глава 4. Электрический транспорт в упорядоченных поверхностных фазах 1
Сг, 1Ге и
X
4.1 Механизмы проводимости в кремнии с атомарночистой поверхностью.
4.2 Влияние поверхностной фазы 817х7Сг на проводимость атомарночистого кремния
4.3 Механизм проводимости в поверхностной фазе 813х3Сг
4.4. Механизм проводимости в поверхностной фазе 812х2Ре
4.5 Влияние поверхностной фазы 8 Зx и 23ЛЗх233М на проводимость
атомарночистого кремния.
Основные результаты работы
Приложения в .
Список литературы
- Київ+380960830922