Механизмы образования вторичных ионов кремния и меди при облучении ионами инертных газов

ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение
Глава 1. Основные закономерности вторичной ионной эмиссии
обзор литературы.
1.1. Физические основы явления.
1.2. Экспериментальные методы
1.3. Модели формирования вторичных ионов
1.3.1. Модель разрыва связи
1.3.2. Кинетическая модель .
1.3.3. Электроннообменная модель
Глава 2. Экспериментальная установка
2.1. Модуль формирования первичного ионного пучка
2.2. Энергоанализатор
2.3. Квадрупольный массспектрометр Глава 3. Исследование энергетических спектров вторичных ионов
кремния и меди
3.1 Исследование энергетических спектров вторичных ионов кремния п и р типа
3.1.1. Методика проведения эксперимента
3.1.2. Результаты и обсуждение
3.2. Влияние разогрева образца на энергетические спектры вторичных ионов меди
3.3. Исследование энергетических спектров вторичных ионов поликристалла меди
3.3.1. Результаты и обсуждение Глава 4. Исследование эмиссии высокоэнергетичных вторичных
ионов меди и кинетической вторичной эмиссии кремния
4.1 .Исследование эмиссии высокоэнергетичных частиц при
бомбардировке Си 0 ионами инертных газов.
4.1.1. Введение
4.1.2. Методика эксперимента
4.1.3. Экспериментальные результаты
4.1.4. Компьютерное моделирование
. 4.2.Вклад кинетического механизма в эмиссию вторичных ионов кремния
4.2.1. Методика эксперимента
4.2.2. Результаты и обсуждение
Заключение
Литература