Содержание
Введение
Глава 1. Получение и анализ поверхностного нанорельефа Литературный обзор .
1.1. Рентгеновские методы контроля параметров нанорельефа . о
1.2. Рентс нове кая рефлектометри я
1.3. Атомносиловая микроскопия
1.4. Манорельеф на поверхностях кристаллов
Глава 2. Методика проведения экспериментов и обработка экспериментальных данных
2.1. Рентгеновские эксперименты.
2.2. Атомносиловая микроскопия
2.3. Заключение
Глава 3. Создание на базе двухкристального топографического спектрометра новой экспериментальной установки
3.1. Замена источника рентгеновского излучения
3.2. Рентгеновский тракт с параболическим зеркалом .
3.3. Сцинтилляционный детектор
3.4. Координатный детектор .
3.5. Дополнительная оснастка
3.6. Система управления гониометром.
3.7. Программная автоматизация эксперимента.
3.8. Тестовые измерения.
3.9. Заключение
Глава 4. Рефлектометри ческие исследования тонких плнок
4.1. Рефлектометр чсские исследования углеродных плнок на кремнии
4.2. Совместные рефлектометри ческие эксперименты
4.3. Заключение
Глава 5. Исследования наноструктурированных поверхностей методом рентгеновского рассеяния .
5.1. Поверхности со стохастическим нанорельефом.
5.2. Поверхности с регулярным нанорельефом
5.3. Заключение .
Основные результаты и выводы .
Благодарности
Публикации но материалам диссертации .
Литература
- Київ+380960830922