СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
Актуальность темы работы
Цели и задачи работы
Научная новизна работы
Защищаемые положения
Практическая значимость работы
Внедрение результатов работы.
Апробация работы.
Публикации
Структура и объем диссертации
ГЛАВА 1 СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ ЗОНДОВЫХ МЕТОДОВ ИССЛЕДОВАНИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СВОЙСТВ
ПОВЕРХНОСТИ.
1.1 Основные этапы развития зондовой микроскоп
1.2 Методы сканирующей электрической микроскопии.
1.3 Измерение сопротивления растекания, нанопотенциометрия .
1.4 Измерение тока и вольтампер 1ых характеристик при контролируемой силе нагрузки на индкнтор.
Выводы главы.
ГЛАВА 2 ПРИБОРНАЯ БАЗА, СКАНИРУЮЩИЕ ТВЕРДОМЕРЫ НАНОСКАН .
2.1 Особенности и фуню щональные возможности приборов серии НаноСкап
2.2 Режимы измерений.
2.2.1 Измерение топографии
2.2.2 Измерение карт механических свойств
2.2.3 Наноиндентирование.
2.2.4 Микроиндентирование
2.2.5 Склерометрия.
2.2.6 Метод измерения кривых подвода.
2.3 Измерительная система ИаноСкан.
2.3.1 Управляющий компьютер
2.3.2 Управляющая электроника
2.4 Описание приборов серии НаноСкан.
2.4.1 СЗМ НаноСкан.
2.4.2 Сканирующий нанотвердомер НаноСкан3Д
2.4.3 ИНДЕНТИРУЮЩАЯ ГОЛОВА ДЛЯ ЗОНДОВОЙ НАНОЛАБОРАТОРИИ Интегра
2.4.4 Зондовый ДАТЧИК
2.4.5 Система генерации колебаний зонда
2.4.6 Модуль измерения тока
2.5 Программное обеспечение СЗМ НаноСкан.
2.6 Язык управления ЯЬВ
2.7 Редактор управляющих файлов
2.8 Панели управления электрическими измерениями.
2.9 Инденторы из легированого бором алмаза.
2. Полупроводниковые свойства легированного бором алмаза ГЛАВА 3 МОДЕЛИ ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ИГЛЫ С
ПРОВОДЯЩЕЙ ПОВЕРХНОСТЬЮ.
3.1 Выбор метода расчета.
3.2 Расчет электрического поля и плотности токов методом конечных элементов
3.3 Построение геометрии модели
3.4 Моделирование упруго пластической деформации при индентировании
3.5 Моделирование электрических характеристик контакта при индентировании
3.6 Модель течения тока в условиях пластической деформации .
3.7 Модель течения тока при упругом взаимодействии.
3.8 Модель течения тока в режиме силовой спектроскопии метод кривых подвода
Выводы главы 3.
ГЛАВА 4 АПРОБАЦИЯ ПРЕДЛОЖЕННЫХ МЕТОДОВ И МОДЕЛЕЙ.
4.1 Режим сканирования поверхности и измерение карт
проводимости.
4.2 Вольт амперные характеристики области контакта.
4.3 Измерение кривых подвода на диэлектрических пленках
4.4 Зондовая электрохимическая литография
4.5 Исследование тонких пленок оксид гафния на кремнии.
4.6 Исследование тонких пленок золото на кремнии.
4.6 Проверка модели течения тока при пластической деформации
4.7 Проверка модели течения тока при упругом взаимодействии
4.8 Проверка модели течения тока, при силовой спектроскопии
метод кривых подвода.
Выводы Главы 4
СПИСОК ПУБЛИКАЦИЙ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ.
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922