Содержание
Содержание.
Список сокращений
Введение.
Глава 1 Выращивание III слоев и гетероструктур обзор .
1.1. Свойства нитридов металлов третьей группы
1.2. Метод молекулярнопучковой эпитаксии нитридных соединений с плазменной активацией азота
1.2.1. Особенности реализации МПЗ в случае роста нитридов.
1.2.2. Управление полярностью слоев А3 в случае их роста МПЭПА.
1.2.3. Генерация упругих напряжений в гетероструктурах на основе 3 и основные механизмы их релаксации.
1.2.4. Особенности кинетики роста 3 соединений методом МГ1Э ПА.
1.3. МПЭ ПА бинарных соединений 3.
1.4 МПЭ ПА тройных соединений 3.
1.5 Особенности релаксации упругих напряжений
при росте .
1.6 Зависимость ширины запрещенной зоны xi.x
от содержания А
1.7 Метод цифровых твердых растворов ii i.
Глава 2 Описание установки молекулярнопучковой
эпитаксии с плазменной активацией азота 2I и методы диагностики
2.1 Устройство и основные системы установки МПЭ А
2.2 Методы i i характеризации роста при МПЭ ПА
2.3 I i калибровка потоков
Глава 3 Кинетика роста слоев в системе А1, ва при молекулярнопучковой эпитаксии с плазменной активацией
азота.
3.1 Описание эксперимента
3.2 Феноменологическая модель роста соединений А1, ОаЫ
при МПЭ ПА.
3.3 Исследования полярности слоев в системе А1, СаИ выращенных МПЭ ПА
3.3 МПЭ ПА слоев в системе А1, ОаЫ в различных стехиометрических условиях роста.
3.3.1 Единичные стехиометрические условия роста.
3.3.2 Лзотобогащенные условия роста
3.3.3 Металлобогащенные условия роста
Глава 4 Получение гстероструктур для
оптоэлектроники ультрафиолетового диапазона методом молекулярнопучковой эпитаксии с плазменной активацией.
4.1 Структурные исследования гстероструктур
4.2 Выращивание гетероструктур АЮаИ с квантовыми ямами методом СДЭ.
4.3 Выращивание легированных примесями п и ртипа слоев
4.4 Получение источников УФ излучения на основе
гетероструктур АЮаК
Заключение.
Цитируемая литература
Основные работы, включенные в диссертацию
Список сокращений
Обозначение Расшифровка
УФ Ультрафиолетовый
ЛД Лазерный диод
СИД Светоизлучающий диод
МПЭ Молекулярнопучковая эпитаксия
ЧНзМПЗ Аммиачная молекулярнопучковая эпитаксия
МПЭ ПА Молекулярнопучковая эпитаксия с плазменной
активацией азота
ГФЭМОС Газофазная эпитаксия из металлоорганических соединений
МС Монослой
КЯ Квантовая яма
СДЭ Субмонослойная дискретная эпитакися
ГС Гетероструктура
ФЛ Фотолюминесценция
ЭЛ Электролюминесценция
ЛР Лазерная рефлектометрия
ДОБЭ Дифракция отраженных быстрых электронов
РД Рентгеновская дифракция
РЭМ Растровая электронная микроскопия
ПЭМ Просвечивающая электронная микроскопия
АСМ Атомносиловая микроскопия
КРСМА Количественный рентгеноспектральный микроанализ
СР Сверхрешетка
ВВЕДЕНИЕ.
Актуальность
- Київ+380960830922