Электропроводность тонких диэлектрических пленок с нанокристаллами кремния

Содержание
Список условных обозначении и сокращений.
Содержание.
Введение.
Научная новизна работы.
Практическая значимость работы.
Положения, выносимые на защиту.
Глава I. Формирование и свойства нанокристаллов кремния.
1.1. Методы формирования ианокристалличсских включений кремния.
1.2. Зародышеобразование в аморфном кремнии.
1.3. Методы расчета электронного спектра нанокристаллов.
1.4. Оптические и электрические свойства диэлектрических пленок, содержащих
кластеры кремния
Глава II. Методики измерений и подготовка образцов
2.1. Методика измерений проводимости, дифференциальной емкости и
проводимости высокоомных пленок.
2.2. Метод комбинационного рассеяния света применительно к
нанокристалличсским включениям
2.3. Методика измерении спектров фотолюминесценции
2.4. Методика радиационнотермических обработок, подготовки образцов и их
описание
Глава III. Формирование нанокристаллов в пленках аморфного гидрогенизированного кремния при радиационнотермических обработках и их свойства
3.1. Исследование формирования нанокристаллов кремния и анализ их
размеров, формы, концентрации.
3.2. Анализ электронного спектра нанокристаллов.
3.3. Исследование механизмов транспорта заряда в пленках аморфного
гидрогенизированпого кремния с нано кристаллами кремния.
3.4. Активация мелкой примеси в пленках аморфного кремния.
3.5. Активация мелкой примеси в кристаллическом кремнии и создание мелких рп
переходов
Глава IV. Свойства пленок нитрида кремния с нанокластерами кремния.
4.1. Оптические свойства пленок нитридов, обогащенных кремнием
4.2. Проводимость лазерно обработанных образцов
4.3. Расчетный электронный спектр нанокристаллов кремния в нитриде кремния. 8 Глава V. Емкость и проводимость оксида кремния с кремниевыми включениями
5.1. Энергетический спектр нанокристаллов кремния в ЭЮг
5.2. Влияние кулоновской блокады на проводимость слоя оксида кремния с
нанокристаллами кремния в МДструктуре.
5.3. Исследование вклада локализованных состояний на проводимость оксида
кремния и емкость МДПструктур.
Основные результаты
Заключение
Список литературы