Формирование и свойства регулярных поверхностных и пористых полиимидных микроструктур для элементов микросистемной техники

1.1. Назначение и методы формирования регулярных поверхностных и пористых микро и наноструктур.
1.2. Влияние природы материала и геометрических характеристик поверхностных и пористых микро и наноструктур на их свойства.
1.2.1. Смачивание жидкостями профилированных твердых поверхностей форма капель воды и их динамика на гидрофильных и гидрофобных поверхностях
1.2.2. Сухая адгезия регулярных поверхностных микро и наноструктур к твердым поверхностям.
1.2.3. Физикомеханические свойства пористых микро и наноструктур
Глава 2. Объекты и методы исследований
2.1. Объекты исследований.
2.1.1. Непрофилированные гладкие полиимидные покрытия и пленки.
2.1.2. Объекты исследования кинетики и анизотропии реактивного ионного травления полиимидных слоев
2.1.3. Регулярные полиимидные микроструктуры
2.1.4. Объекты исследования сухой адгезии.
2.2. Методы исследований
2.2.1. Исследование кинетики и анизотропии травления полиимидных слоев
2.2.2. Определение шероховатости гладких поверхностей и геометрических параметров элементов микрорельефа
2.2.3. Определение состава и свойств поверхностей.
2.2.4. Исследование поведения капли воды на поверхности анизометрии формы капли, анизотропии и гистерезиса смачивания.
2.2.5. Определение локальной и интегральной сухой адгезии полиимида к твердым поверхностям различной природы.
2.2.6. Определение деформационнопрочностных свойств пористых полиимидных мембран
Глава 3. Регулирование кинетики и анизотропии реактивного ионного травления полиимида в высокоплотной индуктивносвязанной плазме и оптимизация режимов формирования регулярных полиимидных микроструктур и чувствительных
элементов микроаксслсрометров.
Глава 4. Поверхностные свойства регулярных полиимидных микроструктур
4.1. Поведение капель воды на поверхностях регулярных полиимидных микроструктур с различной энергией и геометрией микрорельефа
4.2. Сухая адгезия регулярных полиимидных микроструктур к твердым поверхностям различной природы
4.2.1. Локальная сухая адгезия полиимида к твердым поверхностям различной природы.
4.2.2. Интегральная сухая адгезия регулярных полиимидных микроструктур и полиимидных пленок к твердым поверхностям.
Глава 5. Деформационнопрочностные свойства регулярных пористых полиимидных микроструктур
Выводы по работе.
Литература