Ви є тут

Сверхпроводниковые и сегнетоэлектрические перовскитные пленочные структуры в СВЧ микроэлектронике

Автор: 

Карманенко Сергей Федорович

Тип роботи: 

докторская

Рік: 

2001

Кількість сторінок: 

345

Артикул:

1000329397

179 грн

Додати в кошик

• 
• 
• 

Рекомендовані дисертації

• Выращивание и исследование сложных галлиевых гранатов ИСГГ: Cr: Nd, ГСГГ: Cr:Nd и ИСГГ: Cr: Ho: Yb для твердотельных лазеров
• Оптимизация условий выращивания и использование третьего компонента в процессах получения совершенных монокристаллов кремния методом Чохральского для СБИС
• Исследоввание процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния
• Синтез, структура и свойства кристаллов ZrO2, частично стабилизированных Y2O3
• Влияние термообработки и легирования на свойства монокристаллического кремния
• Получение кристаллов новых сверхпроводящих, сегнетоэлектрических и родственных фаз оксидных систем, изучение их структуры и свойств
• Разработка основ технологии получения эпитаксиальных слоев кремния в системе SiH4-H2 на подложках цилиндрической формы
• Обоснование и разработка прецизионного способа двухстороннего шлифования свободным абразивом пластин кремния большого диаметра
• Тонкие пленки углерода: выращивание пучками заряженных частиц, фазообразование, строение и свойства
• Физико-механические свойства кремниевых наноструктур как технологического материала микросистемной техники