- Київ+380960830922
Ви є тут
Введіть ключові слова для пошуку дисертацій:
Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления
Тип роботи:
кандидатская
Рік:
2001
Кількість сторінок:
159
Артикул:
1000338315 179 грн
Рекомендовані дисертації
- Термодиэлектрические свойства композитных материалов на основе наночастиц оксидов переходных металлов в матрице полиэтилена высокого давления
- Закономерности релаксации упругих напряжений и диффузия в псевдоморфных SiGe/Si структурах
- Теплофизические свойства микросистем на основе структур карбид кремния на изоляторе
- Разработка технологии изготовления и исследование характеристик неподогревных сенсоров газов на основе кобальт - и медьсодержащего полиакрилонитрила
- Осаждение пленок и отжиг радиационных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений
- Зависимости электрических параметров нано-МОП транзисторов со структурой КНИ от конструктивных и технологических факторов
- Исследование процесса формирования изображения мягким рентгеновским и вакуумным ультрафиолетовым излучением в микролитографии
- Разработка литографических методов и спецоборудования для создания СБИС и транзисторных структур с субмикронными размерами элементов
- Автогенераторы на микрополосковых и объемных резонаторах с поликристаллическим ферритовым заполнением и магнитно-режективной перестройкой
- Микромагнитные состояния эпитаксиальных микро- и наноструктур Fe(001) и Fe(011)