ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА I. Воздействие излучений на полимерные материалы.
Методы фото и рентгеновской литографии.
Обзор литературы
1.1. Общая характеристика процессов, происходящих в полимерах при поглощении квантов мягкого рентгеновского и ультрафиолетового излучения
1.2. Физические изменения, происходящие в полимерах при облучении. Радиационная стойкость полимеров .
1.3. Методы фото и рентгеновской литографии
1.4. Фото и рентгеновские резисты в микролитографии
ГЛАВА П. Источники излучения. Экспериментальные
методы .
2.1. Источник мягкого рентгеновского излучения
2.2. Источник вакуумного ультрафиолетового излучения
2.3. Применение ядерных фильтров в качестве тестовых шаблонов в фото и рентгенолитографии
2.4. Дозиметрия мягкого рентгеновского излучения и вакуумного ультрафиолета, основанная на эффекте фототравления полимеров .
2.5. Характеристики исследуемых полимерных материалов .
ГЛАВА Ш. Исследование эффекта фототравления полимеров
под действием вакуумного ультрафиолетового и
мягкого рентгеновского излучения .
3.1. йототравление полимеров под действием вакуумного
ультрафиолетового излучения
3.2. Эффект травления полимеров под действием мягкого
рентгеновского излучения .
ГЛАВА 1У. Фототравление полимеров, предварительно облученных рентгеновским излучением, электронами
или ионами высоких энергий
ГЛАВА У. Использование явления фототравления полимеров
для воспроизведения изображений микроструктур.III
5.1. Использование фототравления для формирования изображений микроструктур вакуумным ультрафиолетовым излучением III
5.2. Использование фототравления полимеров в рентгеновской и электронной литографии
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА
- Київ+380960830922