Ви є тут

Научные основы управления процессами трибодесорбции газов в узлах трения механизмов сверхвысоковакуумного оборудования электронной техники и нанотехнологий

Автор: 

Невшупа Роман Александрович

Тип роботи: 

докторская

Рік: 

2010

Кількість сторінок: 

671

Артикул:

233050

179 грн

Додати в кошик

Рекомендовані дисертації

• Разработка и исследование устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием и минимальным дестабилизирующим воздействием на вакуумную среду оборудования высоких технологий
• Градиентная жидкофазная кристаллизация твердых растворов PbSnTe/PbTe с применением системы цифровой обработки сигналов
• Разработка процесса МОС-гидридной эпитаксии квантоворазмерных гетероструктур на основе полупроводников AIIIBV для приборов оптоэлектроники и ИК-техники
• Получение и исследование керамических структур для приборов метрологии
• Феноменологическое моделирование процессов осаждения нитридов алюминия и галлия из газовой фазы
• Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленочных гетерокомпозиций
• Получение и исследование эпитаксиальных структур полупроводник-фианит
• Исследоввание процессов плазмохимического осаждения пленок нитрида кремния
• Сверхпроводниковые и сегнетоэлектрические перовскитные пленочные структуры в СВЧ микроэлектронике
• Использование нейтральных примесей, компенсированных основой, для производства монокристаллов кремния