СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕИЕ.
1. СОВРЕМЕННОЕ СОСТОЯНИЕ СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДО
ВОЙ МИКРОСКОПИИ С ПРОВОДЯЩИМИ КАНТИЛЕВЕРАМИ
1.1. Роль сканирующей зондовой микроскопии в современной науке
1.2. Кремниевая микромеханика в СЗМ.
1.3. Анализ сканирующей электропроводящей микроскопии.
1.3.1. Особенности функционирования метода СЭПМ и принципиальные его возможности
1.3.2. Особенности конструкции и технологии изготовления проводящих кантилеверов
1.4. Методы локальной модификации поверхности при помощи
сканирующей зондовой микроскопии
1.5. Выводы и постановка задач
2. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ПРОВОДЯЩИХ КАНТИЛЕВЕРОВ НА ОСНОВЕ ТУГОПЛАВКИХ СОЕДИНЕНИЙ Т1 И
2.1. Основные требования к конструктивным и физическим пара
метрам проводящих кантилеверов. Выбор оптимальных материалов проводящих покрытий.
2.2. Технология формирования проводящих покрытий на основе
структур РтП
2.3. Особенности метода импульсной конденсации электроэрозион
ной плазмы
2.4. Методика определения толщин сверхтонких пленок при помощи СЗМ
2.5. Технология получения пленок ПСЬх .
2.6. Технология формирования проводящих кантилеверов на осно
ве У2С
2.7. Выводы.
3. ИССЛЕДОВАНИЕ И РАЗВИТИЕ МЕТОДА СКАНИРУЮЩЕЙ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩЕЙ МИКРОСКОПИИ
3.1 Анализ схем измерения в сканирующей электропроводящей микроскопии.
3.2 Изучение влияния материала покрытия кантилевера и режимов проведения измерений в СЭПМ на свойства контакта проводящий кантилевер проводящий образец
3.3 Разработка оценки качества проводящих кантилеверов
3.4 Разработка технологии заострения игл проводящих кантилеверов.
3.5 Применение метода СЭПМ для исследования и анализа проводящих свойств различных материалов
3.6 Выводы
4. РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ФОРМИРОВАНИЯ УПОРЯДОЧЕННЫХ НАНОРАЗМЕРНЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ ПРОЦЕССА ЛОКАЛЬНОГО ЗОНДОВОГО ОКИСЛЕНИЯ.
4.1. Физико химическая модель процесса локального зондового окисления.
4.2. Исследование процесса зондового окисления тонких пленок титана
4.3. Исследование процесса зондового окисления СаЛэ.
4.4. Разработка метода формирования диэлектрической пленки, модулированной по толщине.
4.5. Выводы.
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ
СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМЫХ ИСТОЧНИКОВ
- Киев+380960830922