Разработка технологии получения слоев политетрафторэтилена химическим осаждением из газовой фазы

ОГЛАВЛЕНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. Литературный обзор
1.1 Диэлектрики с низким значением диэлектрической проницаемости
1.2 Основные свойства политетрафторэтилена.
1.3 Способы создания покрытий ПТФЭ.
1.4 ХОГФ слоев ПТФЭ с разложением окиси гексафторпропилена на накаленной нити
1.5 Постановка задачи исследований.
ГЛАВА 2. Методика и техника эксперимента.
2.1 Описание созданного экспериментального технологического оборудования.
2.2 Методика проведения эксперимента.
2.3 Методы анализа свойств полученных слоев ПТФЭ.
2.4 Метод массспектрометрического исследования степени превращения реагента.
2.5 Метод математического моделирования характера течения газа в реакторе с массивом накаленных нитей.
ГЛАВА 3. Исследование влияния основных технологических параметров процесса осаждения на степень превращения реагента.
3.1 Влияние длительности работы накаленных нитей.
3.2 Исследование влияния температуры накаленных нитей
3.3 Исследование влияния давления в реакторе.
3.4 Исследование влияния расхода реагента
ГЛАВА 4. Влияние основных технологических параметров процесса осаждения на скорость и строение получаемых слоев ПТФЭ.
4.1 Влияние времени службы элементов реактора на скорость осаждения
4.2 Исследование влияния температуры накаленных нитей
4.3 Исследование влияния давления в реакторе.
4.4 Исследование влияния расхода газа
ГЛАВА 5. Разработка прототипа промышленной технологической установки для получения слоев ПТФЭ химическим осаждением из газовой фазы
5.1 Разработка концепции прототипа технологической промышленной установки.
5.2 Разработка конструкции держателя обрабатываемых изделий .
5.3 Источник химически активных частиц
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ