Ви є тут

Экологически безопасное плазменное травление кремния и кремнийсодержащих материалов для формирования элементов БИС

Автор: 

Рыбачек Елена Николаевна

Тип роботи: 

Кандидатская

Рік: 

1998

Артикул:

1000197142

179 грн

Додати в кошик

• 
• 
• 

Рекомендовані дисертації

• Численное исследование коллективных процессов в микроэлектронных структурах и оптимизация приборов больших интегральных схем
• Контролируемый газофазный синтез наноструктур для наноэлектроники, фотоники и микросистемной техники
• Оксиды переходных металлов и управляемые туннельные переходы на их основе для создания устройств микро- и наноэлектроники
• Оптические характеристики полимерных композиционных материалов с квантовыми точками для фотоэлектрических преобразователей и оптоэлектронных устройств хранения данных
• Исследование и модификация наноструктур с использованием токовых режимов зондовой микроскопии и литографии
• Минимум энтропии измерений как вычислимая мера запутанности многочастичных квантовых состояний
• Термостимулированные процессы на глубоких уровнях в полупроводниках и гетероструктурах на их основе
• Перенос электронов в транзисторных структурах в сильных резконеоднородных электрических полях при воздействии потока квантов высоких энергий
• Физические свойства полупроводниковых пленок диоксида олова для датчиков газов
• Разработка и исследование управляемых выпрямителей на основе биполярных статических индукционных транзисторов