Ви є тут

Моделирование и разработка широкоугольных электронно-оптических систем прецизионного электронно-лучевого оборудования

Автор: 

Михальцов Евгений Петрович

Тип роботи: 

Кандидатская

Рік: 

1998

Артикул:

1000196872

179 грн

Додати в кошик

• 
• 
• 

Рекомендовані дисертації

• Построение исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волнового движения
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального назначения
• Теплофизические исследования и разработка реакторного блока установки быстрой термической обработки
• Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок : Применительно к сборке ИС в полимерные корпуса
• Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства
• Теоретические и прикладные вопросы создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры и устройств вакуумной механики для многомодульного оборудования высоких технологий
• Исследование процесса и разработка установки финишной обработки микроприборов потоком твердых частиц
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального
• Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии
• Исследование и разработка пространственных колебательных систем для балансировки неуравновешенных роторов оборудования чистых производств