Вы здесь

Моделирование и разработка широкоугольных электронно-оптических систем прецизионного электронно-лучевого оборудования

Автор: 

Михальцов Евгений Петрович

Тип работы: 

Кандидатская

Год: 

1998

Артикул:

1000196872

179 грн

Добавить в корзину

• 
• 
• 

Рекомендуемые диссертации

• Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники
• Исследование процесса и разработка установки финишной обработки микроприборов потоком твердых частиц
• Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок
• Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок : Применительно к сборке ИС в полимерные корпуса
• Построение исполнительных систем оборудования электронной техники на основе волнового движения
• Исследование и разработка пространственных колебательных систем для балансировки неуравновешенных роторов оборудования чистых производств
• Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона
• Теоретические и прикладные вопросы создания бескорпусной вакуумной коммутационной аппаратуры и устройств вакуумной механики для многомодульного оборудования высоких технологий
• Новые технохимические процессы и оборудование жидкостного химического снятия слоев полимеров в планарном микроэлектронном производстве
• Система диагностики механических элементов вакуумного оборудования