Ви є тут

Система диагностики механических элементов вакуумного оборудования

Автор: 

Пересадько Андрей Григорьевич

Тип роботи: 

кандидатская

Рік: 

2000

Кількість сторінок: 

212

Артикул:

1000283587

179 грн

Додати в кошик

• 
• 
• 

Рекомендовані дисертації

• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального назначения
• Теплофизические исследования и разработка реакторного блока установки быстрой термической обработки
• Моделирование и проектирование электронно-оптических систем оборудования для электронной литографии
• Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального
• Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок : Применительно к сборке ИС в полимерные корпуса
• Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники
• Повышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогрева
• Разработка перспективных методов литографии для получения рисунка на внутренней поверхности дефлектрона
• Моделирование и разработка широкоугольных электронно-оптических систем прецизионного электронно-лучевого оборудования