Вы здесь

Система диагностики механических элементов вакуумного оборудования

Автор: 

Пересадько Андрей Григорьевич

Тип работы: 

кандидатская

Год: 

2000

Количество страниц: 

212

Артикул:

1000283587

179 грн

Добавить в корзину

• 
• 
• 

Рекомендуемые диссертации

• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального назначения
• Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства
• Теоретические и экспериментальные исследования ионизационных преобразователей давления с целью расширения диапазона измерения и создания нового поколения высоковакуумных и сверхвысоковакуумных ионизационных преобразователей давления общего и специального
• Новые технохимические процессы и оборудование жидкостного химического снятия слоев полимеров в планарном микроэлектронном производстве
• Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок
• Исследование и разработка пространственных колебательных систем для балансировки неуравновешенных роторов оборудования чистых производств
• Повышение надежности высоковакуумных механизмов на основе учета влияния обезгаживающего прогрева
• Исследование процесса и разработка установки финишной обработки микроприборов потоком твердых частиц
• Моделирование и разработка широкоугольных электронно-оптических систем прецизионного электронно-лучевого оборудования
• Разработка методики оценки допустимых уровней дефектности тонких металлических пленок : Применительно к сборке ИС в полимерные корпуса