Ви є тут

Размерное травление кремния и диоксида кремния высокочастотным газовым тлеющим микроразрядом

Автор: 
Абрамова Елена Александровна
Тип роботи: 
диссертация кандидата технических наук
Рік: 
2003
Артикул:
568603
179 грн
Додати в кошик