Вы здесь

Размерное травление кремния и диоксида кремния высокочастотным газовым тлеющим микроразрядом

Автор: 
Абрамова Елена Александровна
Тип работы: 
диссертация кандидата технических наук
Год: 
2003
Артикул:
568603
179 грн
Добавить в корзину