Ви є тут

Исследование хемосорбционного взаимодействия при формировании приповерхностных легированных слоев в полупроводниках и пленок на их поверхности в технологических процессах диффузии и осаждения

Автор: 

Королев Алексей Николаевич

Тип роботи: 

докторская

Рік: 

1998

Кількість сторінок: 

169

Артикул:

1000242007

179 грн

Додати в кошик

• 
• 
• 

Рекомендовані дисертації

• Исследование кинетики и механизмов взаимодействия газоразрядной фторсодержащей плазмы с поверхностью LiNbO3
• Электрофизические свойства и оптимизация параметров эпитаксиальных псевдоморфных НЕМТ структур с односторонним и двухсторонним дельта - легированием
• Тонкопленочные структуры молибден-медь с эффектом близости и сверхпроводниковым переходом для сверхчувствительных субмиллиметровых болометров
• Неравновесные фазовые превращения в примесно-дефектных подсистемах алмазоподобных полупроводников
• Нанометровые высоковольтные предохранители для экспериментальной физики
• Прогнозирование деградации электрических параметров полупроводниковых изделий
• Экспериментальное исследование кинетических магнитных эффектов в висмуте и алюминиевых сверхпроводящих микроструктурах
• Математическая модель мощных СВЧ полевых транзисторов для систем автоматизированного проектирования электронных устройств в многочастотных режимах
• Исследование закономерностей формирования волнообразных микро- и наноструктур ионными пучками на поверхности кремния
• Разработка методов проектирования элементов МОЭМС, изготавливаемых по технологии поверхностной микрообработки