ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение
Глава I. Влияние структурных параметров на физические характеристики гетероструетур.
1.1 .Влияние деформаций и напряжений на физические характеристики полупроводниковых гстероструктур. Основные физические характеристики эпитаксиальных сверхрешеток.
1.2 Кубическая и гексагональная модификация в эпитаксиальной системе ОаР.пМ8.
1.3.Цель исследования и постановка задачи.
Глава . Рентгенодифрактометрическое измерение деформаций. Теория рентгеновской дифракции в гетсроструктурах с градиентом деформации.
2.1. Метод двух кристальной рентгеновской дифрактометрии,
2.2. Дифракция в гстсроструктуре с переходным слоем.
2 3 Дифракция в гетерогранице с экспоненциальным градиентом деформации в пленке.
Глава Ш. Теория упругости гстероструктур и измерение тангенциальных компонент тензора деформаций в них.
3.1. Система уравнений теории упругости для гстероструктур. Тензор НР.
3.2. Решение задачи упругонапряженного состояния для двухслойной гетероструктуры. Величина тангенциальной компоненты тензора деформации.
3.3. Рентгенодифракционное определение структурных
параметров эпитаксиальных структур.
Глава IV. Рентгенодифрактометрическое исследование нарушенных приповерхностных слоев гомо и гетероструктур на основе модели постоянного градиента деформации.
4.1. Кинематическая теория рентгеновской дифракции в I етерострукчурс с постоянным градиентом деформации.
4.2. Рентгенодифрактометрическое определение фадиента деформации в пленках неоднородных составов.
4.3. Рентгенодифрактометрическое определение статического фактора в пленках с градиентом деформации. Заключение и основные результаты.
Литература
- Київ+380960830922