СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА 1. Анализ современного состояния элементной базы МЭМС регистрации линейных ускорений
1.1. Общие сведения.
1.2. Актюаторы
1.3. Преобразователи перемещения
1.4. Технологические аспекты
1.5. Выводы.
ГЛАВА 2. Разработка принципов построения и конструкций интефальных МЭМС регистрации линейных ускорений на основе туннельных
наноструктур
2.1. Классификация туннельных контактов.
2.2. Элементы передачи движения в МЭМС
2.3. Разработка конструкции ММА с горизонтальным расположением электродов преобразователя
2.4. Разработка конструкции ММА с вертикальным расположением электродов преобразователя.
2.5. Разработка многоосевого ММА на основе туннельных наноструктур с горизонтальным расположением электродов.
2.6. Концепция произвольной ориентации осей чувствительности
2.7. Технологические аспекты изготовления МЭМС с произвольной ориентацией осей чувствительности.
2.8. Многоосевой ММА на основе туннельных наноструктур с произвольной ориентацией осей чувствительности.
2.9. Выводы.
ГЛАВА 3. Разработка моделей и методов моделирования интегральных МЭМС регистрации линейных ускорений
3.1. Обзор методов моделирования МЭМС
3.2. Декомпозиция задачи моделирования туннельного преобразователя перемещения
3.3. Разработка модели распределения потенциала в преобразователе перемещения.
3.4. Модель транспорта носителей заряда в наноразмерном преобразователе перемещения.
3.5. Разработка численного метода расчета коэффициента прозрачности потенциального барьера туннельного преобразователя перемещения.
3.6. Расчет основных характеристик преобразователя перемещения на основе туннельных наноструктур
3.7. Разработка аналитических моделей элементов передачи движения
3.8 Разработка модели самосборки функциональных элементов ММА с произвольной ориентацией осей чувствительности
3.9. Исследование механических характеристик интегрального многоосевого ММА с горизонтальным расположением электродов.
3 Разработка модели электростатического взаимодействия между электродами туннельного преобразователя перемещения.1
3 Выводы
ГЛАВА 4. Разработка методов и методик проектирования интегральных МЭМС регистрации линейных ускорений
4.1. Обзор методов проектирования МЭМС
4.2. Разработка обобщенной методики проектирования МЭМС.
4.3. Методика параметрического представления элемента передачи движения многоосевого ММА с горизонтальным расположением электродов преобразователя перемещения.
4.4. Методика определения диапазона отклонений подвижного электрода под действием внешнего ускорения
4.5. Методика проектирования двухосевого ММА.
4.6. Выводы. Заключение
Список использованных источников
- Київ+380960830922