Исследование и разработка методов моделирования для управления технологическими процессами компьютерно-интегрированного производства СБИС

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА 1. РОЛЬ И ИЕРАРХИЯ МОДЕЛЕЙ В КОМПЬЮТЕРНОИНТЕГРИРОВАННОМ ПРОИЗВОДСТВЕ СБИС. II
1.1. Концепция компьютерноинтегрированного производства специализированных изделий микроэлектроники
1.2. Требования к управлению современным полупроводниковым производством
1.3. Разновидности моделирования в компьютерноинтегрированном производстве.
1.3.1. Определение и классификация моделей применительно к моделированию технологических процессов технологического оборудования.
1.3.2. Современные методы построения эмпирических моделей технологических операций и технологического оборудования
1.3.3. Использование разных подходов к моделированию на
примере процессов плазмохимического травления
1.4. Применение моделирования в задачах управления технологическими процессами производства СБИС
1.4.1. Разработка технологических режимов операций изготовления интегральных микросхем.
1.4.2. Проектирование новых технологий СБИС с учетом
концепции технологичности
1.5. Выводы и постановка задачи.
ГЛАВА 2. РАЗРАБОТКА И АДАПТАЦИЯ МЕТОДОВ
МОДЕЛИРОВАНИЯ В РАМКАХ КОМПЬЮТЕРНОИНТЕГРИРОВАННОГО ПРОИЗВОДСТВА СБИС.
2.1. Формальное описание модели технологической операции и тсхнолошчсского оборудования.
2.2. Процедура моделирования на основе методологии поверхности отклика
2.2.1.одготовка экспериментальных данных.
2.2.2. Расчет коэффициентов регрессии
2.2.3. Анализ регрессии
2.3. Алгоритм построения модели технологической операции с
помощью искусственной нейронной сети.
2.4. Алгоритм построения нейронечетких моделей технологических операций и моделей управления.
2.5. Выводы
ГЛАВА 3. РЕАЛИЗАЦИЯ МЕТОДОВ МОДЕЛИРОВАНИЯ НА
ПРИМЕРЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ ОПЕРАЦИИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ
3.1. Описание операции плазмохимического травления ПХТ кремния
3.2. Построение полиномиальной модели операции ПХТ
3.3. Построение нсйросстсвой модели операции ПХТ
3.4. Сравнение различных моделей и способов их построения
на примере операции ПХТ.
3.5. Выводы.
ГЛАВА 4. ПРИМЕНЕНИЕ МОДЕЛИРОВАНИЯ ДЛЯ УПРАВЛЕНИЯ
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИМИ ОПЕРАЦИЯМИ
ПРОИЗВОДСТВА ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ
4.1. Разработка режимов технологических операций с помощью полиномиальных моделей.
4.1.1. Разработка автоматизированного рабочего места технолога
4.1.2. Анализ чувствительности и оптимизация режимов технологических операций.
4.1.3. Отработка режимов технологических операций на основе полиномиальных моделей.
4.2. Методы искусственного интеллекта в управлении технологическими операциями.
4.2.1. Реализация контроллера на основе ИНС с алгоритмом обратного распространения ошибки.
4.2.2. Реализация нечеткого нейросетевого контроллера.
4.3. Выводы.
ГЛАВА 5. РАЗРАБОТКА И ОПТИМИЗАЦИЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ МАРШРУТОВ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СБИС С ПОМОЩЬЮ СРЕДСТВ ГЕТЕРОМОДЕЛИРОВАНИЯ.
5.1. Методология проектирования новых технологий СБИС с учетом технологичности.
5.2. Пример использования средств гетеромоделирования при проектировании технологического маршрута
5.3. Выводы
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННОЙ ЛИТЕРАТУРЫ