Вы здесь

Исследование закономерностей формирования волнообразных микро- и наноструктур ионными пучками на поверхности кремния

Автор: 

Лепшин Павел Анатольевич

Тип работы: 

Кандидатская

Год: 

1999

Артикул:

1000222646

179 грн

Добавить в корзину

• 
• 
• 

Рекомендуемые диссертации

• Разработка конструкции и технологии формирования радиационно-стойких биполярных полупроводниковых структур
• Особенности образования наноостровков в многослойных SiGe гетероструктурах и метод селективного легирования SiGe структур сегрегирующими примесями
• Функциональная электроника : Формирование направления, создание производительных процессоров и запоминающих устройств высокой емкости
• Контролируемый газофазный синтез наноструктур для наноэлектроники, фотоники и микросистемной техники
• Осаждение пленок и отжиг радиационных дефектов в кремниевых структурах при воздействии ИК и УФ излучений
• Экспериментальное исследование кинетических магнитных эффектов в висмуте и алюминиевых сверхпроводящих микроструктурах
• Многокомпонентные нанокомпозиты на основе SnO2:Y2O3,SnO2:SiO2 и их электрофизические и газочувствительные свойства
• Разработка измерительных программ для ИС К174 с применением методов электрофизического диагностирования в условиях массового производства
• Исследование процесса формирования изображения мягким рентгеновским и вакуумным ультрафиолетовым излучением в микролитографии
• Методы получения и характеристики полиимид - кремниевых микроактюаторов и устройств микромеханики на их основе