Формирование нанокристаллов кремния в диэлектрических пленках при импульсных лазерных воздействиях

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ
Глава 1. ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОКЛАСТЕРОВ КРЕМНИЯ В ПЛЕНКАХ 1ЧХ и 8ЮХ.
1.1 Методы получения пленок ЫХ и БЮ с нанокластерами кремния.
1.2 Оптические свойства диэлектрических пленок, содержащих нанокластеры кремния влияние квантоворазмерного эффекта.
1.3 Модификация полупроводниковых структур с использованием импульсных лазерных воздействий лазерный отжиг.
Глава 2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ МЕТОДИКИ.
2.1 Методика спектроскопии комбинационного рассеяния света.
2.2 Методика фотолюминесценции.
2.3 Методика ИКсиектроскопии.
2.4 Методы электронной микроскопии и атомносиловой микроскопии.
2.5 Методики приготовления исходных пленок и лазерных отжигов.
Глава 3. ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ИСХОДНЫХ ПЛЕНОК БИЧ и вЮж, СОДЕРЖАЩИХ НАНОКЛАСТЕРЫ КРЕМНИЯ.
3.1 Исследование нанокластеров кремния с применением спектроскопии комбинационного рассеяния света.
3.2 Фотолюминесценция нанокластеров кремния в пленках ЫХ и 8ЮХ проявление квантоворазмерного эффекта.
3.3 Температурная зависимость фотолюминесценции от нанокластсров кремния, влияние излучателыюй и безызлучательной рекомбинации.
Глава 4. ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОКЛАСТЕРОВ КРЕМНИЯ В ПЛЕНКАХ вИЧ, И 8Ю СФОРМИРОВАННЫХ В РЕЗУЛЬТАТЕ ИМПУЛЬСНЫХ ЛАЗЕРНЫХ ОТЖИГОВ.
4.1 Кристаллизация нанокластсров кремния в пленках 8Мх и 8ЮХ при наносекундных
лазерных воздействиях.
4.2 Кристаллизация нанокластеров кремния в пленках МХ и БЮх при фемтосекундных лазерных воздействиях.
4.3 Фазовое расслоение и формирование нанокластеров кремния в пленках МХ и 8ЮХ при импульсных лазерных воздействиях.
4.4 Исследование пленок МХ и 8ЮХ с применением методов АСМ и ВРЭМ.
4.5 Фотолюминесценция нанокластеров кремния, сформированных в пленках ЫХ и 8ЮХ в результате импульсных лазерных воздействий.
ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
ЛИТЕРАТУРА