Ви є тут

Фасетирование при локальной твердофазной и молекулярно-лучевой эпитаксии кремния на кремнии

Автор: 

Изюмская Наталия Федоровна

Тип роботи: 

Кандидатская

Рік: 

1999

Артикул:

1000210506

179 грн

Додати в кошик

• 
• 
• 

Рекомендовані дисертації

• Интегральные полупроводниковые матричные преобразователи магнитного поля
• Исследование способов улучшения тепловых режимов теплонагруженных микроэлектронных устройств
• Молекулярно-лучевая эпитаксия низкоразмерных систем на основе гетероструктурных и δ-легированных квантовых ям на подложках GaAs различной ориентации
• Формирование мелкозалегающих легированных слоев в кремнии диффузией из поверхностного источника в условиях быстрой термической обработки
• Исследование и разработка методов моделирования для управления технологическими процессами компьютерно-интегрированного производства СБИС
• Разработка методов и методик проектирования многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений
• Комплексные исследования электрофизических свойств термически окисленных слоев кремния в производстве полупроводниковых приборов с проектной нормой 0,5-0,8 мкм
• Анализ отказов и разработка технических мероприятий по повышению надежности СВЧ твердотельных модулей для радиолокационных станций
• Закономерности релаксации упругих напряжений и диффузия в псевдоморфных SiGe/Si структурах
• Разработка конструктивно-технологических методов роста углеродных наноструктур для автоэмиссионных применений