Электрические и оптические свойства пиролитических пленок окислов металлов

ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение.5
ГЛАВА I. Полупроводниковые и диэлектрические пленки
окислов металлов получение, свойства, применение . . М
1.1. Методы получения и области применения прозрачных проводящих покрытийПОП . .
1.2. Кристаллическая структура окиснкх полупроводников
1.3. Электрические и оптические свойства ППП. .
1.3.1. Точечные дефекты и концентрации квазисвободных электронов в полупроводниковых окислах
1.3.2. Механизмы рассеяния электронов проводимое ти.2А
1.3.3. Оптические свойства ППП.
1Л. Диэлектрические пленки окислов металлов
и их применение в микроэлектронике. . . .
1.5. Электрическое старение и пробой окисных
диэлектриков
1.5.1. Тепловой пробой диэлектриков
1.5.2. Электрический пробой диэлектриков. . .
1.5.3. Механизмы электрического старения диэлектриков.
ВыводыЦ
ГЛАВА 2. Получение пленок окислов металлов методом
пиролиза 4
2.1. Факторы, влияющие на процесс осаждения
пленок окислов металлов из мещлзорргааи .
ческих соединений МОС.
.i, Определение оптимальных параметров процесса осаждения пленок окислов металлов из МОС. .
ГЛАВА 3. Физические свойства прозрачных проводящих пленокХ25
3.1. Электрические свойства ППП 1пп
Ъ.. Оптические свойства пленок 1пп . . .
З.ж.1. Методика определения спектральной зависимости коэффициента поглощения света. .
3.4.4. Экспериментальное исследование механизмов поглощения света в пленкахХ . . .
3.4.3. Отражение и плазменный резонанс в пленках
3.3. Влияние химического состава и кристаллической структуры пленок 1пг3п на их электрофизические параметры .
3.3.1. Кристаллическая структура пленок 1лг5п
3.3.4. Химический состав пленок 1лг Оъ Зп
3.3.3. Механизм влияния послеростового отжига
на электрофизические параметры ППП .
Выводы
ГЛАВА 4. Пиролитические окисные пленки диэлектриков. . .
4.1. Влияние внешних факторов на электрическую прочность окисных пленок диэлектриков. . .
4.1.1. Объекты исследования и экспериментальная установка
4.1.ж. Результаты экспериментального исследования пробоя окисных пленок диэлектриков. . . .
4.1.3. О возможном механизме пробоя окисных
пленок диэлектриков.
4.2. Спектральные и цветовые характеристики
окисных пленок диэлектриков
Выводы.Ж
ГЛАВА 5. Применение пиролитических пленок окислов металлов
Выводы.
ОСНОВНЫЕ ВЫВОДЫ. Ш
ЛИТЕРАТУРА