Моделирование и экспериментальное исследование преципитации кислорода в кремнии

Оглавление
Введение
Глава 1. Литературный обзор
1.1. Междоузельный кислород в СХкремнии
1.2. Растворимость кислорода в кремнии
1.3. Диффузия кислорода в кремнии
1.4. Кислородные термодоноры
1.5. Преципитация кислорода в кремнии
1.6. Теоретические модели преципитации
1.7. Технология внутреннего геттерирования
1.8. Технология кремний на изоляторе
1.9. Выводы
Глава 2. Теоретическое исследование преципитации
кислорода в кремнии
2.1. Кинетические коэффициенты в
2.2. Преципитация, ограниченная диффузией
2.3. Центры зарождения кислородной преципитации
2.4. Кинетика среднего геометрического размера преципитатов
2.5. Образование дефектов упаковки
2.6. Выводы
Глава 3. Экспериментальные исследования
3.1. Исследуемые образцы
3.2. Методика определения концентрации междоузельного кислорода в кремнии
3.3. Экспериментальные данные по кинетике преципитации
кислорода в кремнии
3.4. Микроскопические наблюдения преципитатов и
дефектов упаковки
3.5. Выводы
Глава 4. Моделирование преципитации кислорода в кремнии
4.1. Определение параметров кислородной преципитации
4.2. Моделирование кинетики уменьшения концентрации междоузельного кислорода в кремнии
4.3. Моделирование кинетики роста среднего геометрического размера кислородных преципитатов
4.4. Моделирование образования дефектов упаковки
4.5. Выводы
Глава 5. Моделирование неоднородной по объему преципитации кислорода в кремнии
5.1. Моделирование процесса внутреннего генерирования
5.2. Моделирование технологии кремний на изоляторе
5.3. Выводы
Заключение
Литература