Свойства гетероэпитаксиальных структур 3C-SiC/Si, полученных химическим газотранспортным методом, и тензопреобразователи на их основе

СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ.
ГЛАВА 1. СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЯ ДЕФОРМАЦИИ
1.1. Сравнительный анализ металлических и полупроводниковых тензопреобразователей.
1.2. Физический принцип преобразования деформации датчика тензорезистивный эффект.
1.3. Изготовление полупроводниковых тензопреобразователей и их основные характеристики.
1.4. Анализ известных технических решений.
ГЛАВА 2. ТЕХНОЛОГИЯ ВЫРАЩИВАНИЯ КУБИЧЕСКОГО КАРБИДА КРЕМНИЯ НА КРЕМНИИ
2.1. Способы получения и особенности технологии роста гетероэпитаксиапьных структур ЗСС.
2.2. Диффузионная технология создания гетероэпитаксиальных структур ЗСБЮ с использованием твердофазного кремния и углерода
2.3. Легирование гетероэпитаксиальных слоев ЗСБЮ на кремниевых подложках в процессе роста.
ГЛАВА 3. КАЧЕСТВЕННЫЙ И КОЛИЧЕСТВЕННЫЙ АНАЛИЗ ГЕТЕРОЭПИТАКСИАЛЬНЫХ СЛОЕВ ЗССЖ
3.1. Рентгеноструктурный анализ гетероэпитаксиальных пленок ЗС8ЮБ1
3.2. Электронографические исследования гетероэпитаксиальных пленок ЗСБЮ.
3.3. Морфология поверхности гетероэпитаксиальных пленок ЗСЫС.
3.4. Химический анализ состава гетероэпитаксиальных слоев ЗСЗЮ
3.4.1. Методика проведения количественного анализа состава
3.4.2. Количественный анализ состава гетероэпитаксиальных пленок
ЗСЗСЗ.
3.5. Исследование гетероэпитаксиальных структур ЗСЗСЗ
методом отражательной ИКспектроскопии.
ГЛАВА 4. ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ И ФИЗИКОХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ГЕТЕРОСТРУКТУР ЗСЗСЗ
4.1. Модели гетеропереходов
4.2. Энергетические диаграммы анизотипных етеропереходов пБСрЗ и рЗСпЗ
4.3. Энергетические диаграммы изотипных гетеропереходов пЗСпЗ и рБСрЗ
4.4. Гомопсреходная структу ра рпЗСЗ.
4.5. Анализ электрофизических свойств кубического карбида кремния и гетеро структур на его основе .
ГЛАВА 5. РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ ЭЛЕКРОФИЗИЧЕСКИХ И ТЕНЗОМЕТРИЧЕСКИХ ХАРАКТЕРИСТИК СТРУКТУР 8СЗ.
5.1. Методика изготовления образцов и экспериментальные установки.
5.2. Результаты экспериментальных исследований вольтфарадных характеристик гетероструктур ЗСЗСЗ
5.3. Результаты экспериментальных исследований вольтамперных характеристик гетероструктур ЗСЗСЗ
5.4. Результаты экспериментальных исследований тензометрических характеристик пленок ЗСЗСЗ
ЗАКЛЮЧЕНИЕ
СПИСОК ИСПОЛЬЗОВАННЫХ ИСТОЧНИКОВ