Исследование электрических и емкостных свойств слоев пористого кремния различной морфологии и пористости

ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение
Глава 1. Получение и физикохимические свойства пористого кремния
1.1. Формирование пористой структуры при анодной электрохимической обработке монокремния.
1.2. Структура и физикохимические свойства пористого кремния
1.3. Электрические свойства пористого кремния
1.4. Емкостные свойства пористого кремния
Постановка задачи диссертационной работы.
Глава 2. Характеристика образцов и методика проведения экспериментов.
2.1. Характеристика исследуемых образцов.
2.2. Методика измерения вольтемкостных и частотноемкостных характеристик.
2.3. Методика измерения вольтамперных характеристик высокоомных структур. Определение удельного сопротивления приповерхностных слоев пористого кремния и переходного сопротивления контактов А 1пористый кремний
Глава 3. Диффузия водорода в матрицу пористого кремния при
порообразовании и пассивация примесных атомов.
3.1. Процессы диффузии водорода в кремниевую матрицу во время
анодной электрохимической обработки.
3.2. Анализ экспериментальных результатов для макропористого кремния.
3.2.1. Модель пассивации примесных атомов водородом
3.2.2. Обеднение за счет искривления зон на стенках пор
3.2.3. Модель захвата носителей на дефектах на стенках пор.
3.3 Влияние кратковременного термического отжига на удельное
сопротивление пористого кремния с различной структурой пор.
Анализ полученных результатов с точки зрения модели пассивации примесных атомов водородом.
3.4. Влияние кратковременной термообработки на переходное сопротивление контактов А1пористый кремний.
3.5. Влияние лазерного отжига на свойства А1 контактов и удельное
сопротивление пористых кремниевых слоев
Глава 4. Исследование емкостных свойств структур с толстыми
высокоомными слоями пористого кремния
4.1. СУ и бУ характеристики структур на частоте 1 МГц
4.2. Частотная зависимость емкости.
4.3. Зависимость диэлектрической проницаемости пористого кремния от пористости. Анализ диэлектрической проницаемости
пористого кремния в рамках двухфазной системы
Глава 5. Процессы переноса носителей заряда в структурах с толстыми
слоями пористого кремния при пористости .
Основные результаты диссертационной работы.
Благодарности
Список использованных источников